MFC / GAS FLOW
產品外觀因配置而異。
質量流量控制器（MFC）
KC600 系列
KC600 系列氣體質量流量控制器將工業流量感測器、雙顯示螢幕和可調流量量程結合在一起，可透過 PC 軟體進行設定和監測。典型應用包括半導體加工、太陽能光電生產和真空鍍膜。
- 量程
- 0~20 sccm 至 0~20 slm（氮氣當量）
- 精度
- ±0.3%F.S. (≤30%F.S.) / ±1.0%S.P. (>30%F.S.)
- 量程比
- 100:1
- 反應時間
- ≤0.5s
針對您的應用確認配置與適用性。
基本參數
| 介質要求 | 潔淨、乾燥、無腐蝕性氣體 |
| 介質類型 | 空氣、氮氣、氧氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、甲烷、氬氣等。 |
| 流量範圍¹（氮氣等效值） | (0~20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10, 20) slm；其他量程可客製，請聯繫我們 |
| 精度 | ±0.3%F.S.² (≤30%F.S.) ±1.0%S.P.³ (>30%F.S.) |
| 量程比 | 100:1 |
| 反應時間⁴ | ≤0.5s |
| 重複性 | ≤±0.2%F.S. |
| 解析度 | 0.001 sccm，≤20 sccm；0.01 sccm，≤100 sccm 且 >20 sccm；0.1 sccm，≤1 slm 且 >100 sccm；1 sccm，>1 slm |
| 漏率 | ≤1×10⁻¹⁰ Pam³/sHe |
| 最大額定壓力 | 9.8bar |
環境條件
| 工作溫度 | 0~50℃ |
| 工作濕度 | 10%~90% R.H.（無凝露） |
| 工作壓力⁵ | 0.5~4 bar，>2 slm；0.5~6 bar，≤2 slm（取決於量程） |
| 儲存溫度 | -20~85℃ |
電氣參數
| 電源 | DC24V |
| 功耗 | ≤4.0W |
| 啟動時間 | ≤1s |
通訊介面
| 介面類型 | D-SUB9, RJ45 |
| 類比控制 | 0-5V 或 4-20mA |
| 數位控制 | RS485 或 RS232 |
數位訊號（RS485/RS232）
| 介面類型 | D-SUB9 或 RJ45 |
| 鮑率 | 9600、38400、115200（預設） |
| 通訊協定 | Modbus-RTU |
| 設備地址 | 1（預設）~99 |
機械參數
| 連接器類型 | 卡套：1/4 inch；VCR：1/4 inch；可提供其他規格 |
| 接液材料 | 316L 不鏽鋼、氟橡膠、二氧化矽 |
| 本體材質 | 底座：316L 不鏽鋼；外殼：鋁合金 |
| 密封材料 | FKM 氟橡膠 |
| 重量 | 0.95kg |
測量條件與說明
- 除非另有說明，本產品在以下條件下校準：氮氣、25℃、2.5 bar 壓差（入口 3.5 barA，出口 1 barA）、水平安裝。
- 建議在入口安裝適當尺寸的直管段，否則可能出現精度偏差。
- 建議在入口與出口使用盡可能大口徑的接頭，以避免額外壓力損失。
- 所示量程適用於氮氣。
- %F.S. 表示誤差占滿量程的百分比。
- %S.P. 表示誤差占設定值的百分比。
- 反應時間是指達到設定值 ±2% 範圍內所需的時間。
- 工作壓力指入口與出口之間的壓差。
訂購前，請與我們的團隊確認流體相容性、材質、連接方式及可用配置。
