MFC / GAS FLOW
Das Erscheinungsbild des Produkts variiert je nach Konfiguration.
Massendurchflussregler (MFC)
KC600-SERIE
Der Gasmassendurchflussregler der Serie KC600 kombiniert einen industriellen Durchflusssensor mit einer Doppelanzeige und einem einstellbaren Durchflussbereich. Konfiguration und Überwachung sind über PC-Software möglich. Typische Anwendungen sind die Halbleiterverarbeitung, Photovoltaikproduktion und Vakuumbeschichtung.
- Bereich
- 0~20 sccm bis 0~20 slm (Stickstoffäquivalent)
- Genauigkeit
- ±0.3%F.S. (≤30%F.S.) / ±1.0%S.P. (>30%F.S.)
- Messbereichsverhältnis
- 100:1
- Ansprechzeit
- ≤0.5s
Konfiguration und Eignung für Ihre Anwendung bestätigt.
Grundparameter
| Medienanforderung | Sauberes, trockenes, nicht korrosives Gas |
| Medientyp | Luft, Stickstoff, Sauerstoff, Kohlendioxid, Helium, Wasserstoff, Methan, Argon usw. |
| Durchflussbereich¹ (Stickstoffäquivalent) | (0~20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10, 20) slm Weitere Bereiche auf Anfrage anpassbar |
| Genauigkeit | ±0.3%F.S.² (≤30%F.S.) ±1.0%S.P.³ (>30%F.S.) |
| Messbereichsverhältnis | 100:1 |
| Ansprechzeit⁴ | ≤0.5s |
| Wiederholbarkeit | ≤±0.2%F.S. |
| Auflösung | 0.001 sccm, ≤20 sccm 0.01 sccm, ≤100 sccm und >20 sccm 0.1 sccm, ≤1 slm und >100 sccm 1 sccm, >1 slm |
| Leckrate | ≤1×10⁻¹⁰ Pam³/sHe |
| Maximale Druckfestigkeit | 9.8bar |
Umgebungsbedingungen
| Betriebstemperatur | 0~50℃ |
| Betriebsluftfeuchtigkeit | 10%~90% R.H. (keine Kondensation) |
| Betriebsdruck⁵ | 0.5~4 bar, >2 slm 0.5~6 bar, ≤2 slm (bereichsabhängig) |
| Lagertemperatur | -20~85℃ |
Elektrische Parameter
| Stromversorgung | DC24V |
| Leistungsaufnahme | ≤4.0W |
| Anlaufzeit | ≤1s |
Kommunikationsschnittstelle
| Schnittstellentyp | D-SUB9, RJ45 |
| Analoge Regelung | 0-5V oder 4-20mA |
| Digitale Regelung | RS485 oder RS232 |
Digitalsignal (RS485/RS232)
| Schnittstellentyp | D-SUB9 oder RJ45 |
| Baudrate | 9600, 38400, 115200 (Standard) |
| Protokoll | Modbus-RTU |
| Geräteadresse | 1 (Standard) ~99 |
Mechanische Parameter
| Steckverbindertyp | Klemmring: 1/4 inch VCR: 1/4 inch Weitere erhältlich |
| Medienberührte Werkstoffe | Edelstahl 316L, Fluorkautschuk, Siliziumdioxid |
| Gehäusematerial | Grundkörper: Edelstahl 316L Gehäuse: Aluminiumlegierung |
| Dichtungswerkstoff | FKM-Fluorkautschuk |
| Gewicht | 0.95kg |
Messbedingungen und Hinweise
- Sofern nicht anders angegeben, wird dieses Produkt unter folgenden Bedingungen kalibriert: Stickstoff, 25℃, 2.5 bar Differenzdruck (Eingang 3.5 barA, Ausgang 1 barA), horizontale Einbaulage.
- Am Einlass wird ein gerader Rohrabschnitt geeigneter Größe empfohlen; andernfalls können Genauigkeitsabweichungen auftreten.
- Verwenden Sie möglichst große Einlass- und Auslassanschlüsse, um zusätzliche Druckverluste zu vermeiden.
- Die angegebenen Bereiche sind für Stickstoff verfügbar.
- %F.S. bezeichnet den Fehler in Prozent des Messbereichsendwerts.
- %S.P. bezeichnet den Fehler in Prozent des Sollwerts.
- Die Ansprechzeit bezeichnet die Zeit bis zum Erreichen von ±2% des Sollwerts.
- Der Betriebsdruck bezeichnet den Differenzdruck zwischen Ein- und Ausgang.
Lassen Sie vor der Bestellung Fluidverträglichkeit, Werkstoffe, Anschlüsse und verfügbare Konfiguration von unserem Team bestätigen.
