MFC / GAS FLOW
產品外觀因配置而異。
質量流量控制器（MFC）
KC200 系列
KC200 系列質量流量控制器適用於半導體製造、太陽能光電生產和真空鍍膜設備的整合，提供 EtherCAT 和 RS-485 版本。接液材料、密封選項及氣體相容性請參閱型號規格。
- 量程
- 0~10 sccm 至 0~400 slm（氮氣當量）
- 精度
- ±0.3%F.S. (≤30%F.S.) / ±1.0%S.P. (>30%F.S.)
- 量程比
- 50:1
- 反應時間
- 控制器 ≤1s / 流量計 ≤10ms
針對您的應用確認配置與適用性。
基本參數
| 介質要求 | 潔淨、乾燥氣體 |
| 介質類型 | 空氣、氮氣、氧氣、二氧化碳、氫氣、甲烷、氨氣、矽烷、三氯化硼、氯氣等。 |
| 流量範圍¹（氮氣等效值） | (0~10, 20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10, 20, 50) slm (0~100, 200, 400) slm ——量程 ≥100 slm 採用外置閥結構 ——可提供其他量程，請聯繫我們 |
| 精度 | ±0.3%F.S.²（≤30%F.S.）——%F.S. 表示誤差占滿量程的百分比；±1.0%S.P.³（>30%F.S.）——%S.P. 表示誤差占設定值的百分比 |
| 量程比 | 50:1 |
| 反應時間⁴ | 控制器：≤1s；流量計：≤10ms ——響應時間指達到設定值或最終穩定值 ±2% 範圍內所需的時間 |
| 重複性 | ≤±0.2%F.S. |
| 解析度 | 0.01 sccm, ≤100 sccm 1 sccm, >100 sccm |
| 漏率 | FKM 密封：≤4×10⁻¹⁰ Pam³/sHe；全金屬密封：≤1×10⁻¹² Pam³/sHe ——量程 ≥100 slm 時不提供全金屬密封版本 |
| 最大額定壓力 | 10bar |
環境條件
| 工作溫度 | 0~50℃ |
| 工作濕度 | 10%~90% R.H.（無凝露） |
| 工作壓力⁵ | 控制器：最大 6 bar（可客製）；流量計：10 bar ——工作壓力指入口與出口之間的壓差 |
| 儲存溫度 | -20~85℃ |
電氣參數
| 電源 | DC24V |
| 功耗 | ≤2.7W |
| 啟動時間 | ≤1s |
通訊介面
| EtherCAT 版本 | RJ45 雙連接埠（附 LED），裝置位址 1-999，可透過上位機軟體或命令設定 |
| RS485 版本 | DB9M 介面或 RJ45 雙連接埠；Modbus-RTU 通訊協定，可選 MKS 通訊協定；設備地址 1-99；鮑率支援 9600、19200（預設）、38400 等，可通過 DIP 撥碼開關配置 |
| 類比訊號（可選 RS485 版本） | 0-5V 或 4-20mA（通過 DB9M 介面） |
| 顯示 | EtherCAT 版本：有（位於頂部）；RS485 版本：無 |
機械參數
| 連接器類型 | 卡套：1/4inch、1/2inch；VCR：1/4inch、1/2inch；可提供其他規格 |
| 接液材料 | FKM 密封：316L 不鏽鋼、氟橡膠、氮化矽；全金屬密封：316L 不鏽鋼 ——量程 ≥100 slm 時不提供全金屬密封版本 |
| 本體材質 | 底座：316L 不鏽鋼；外殼：鋁合金 |
| 密封材料 | FKM 氟橡膠或全金屬 |
| 重量 | 控制器：0.85kg~2.8kg；流量計：0.80kg |
測量條件與說明
- 除非另有說明，本產品在以下條件下校準：氮氣、25℃、2.5 bar 壓差（入口 3.5 barA，出口 1 barA）、水平安裝。
- 建議在入口安裝適當尺寸的直管段，否則可能出現精度偏差。
- 建議在入口與出口使用盡可能大口徑的接頭，以避免額外壓力損失。
- 所示量程適用於氮氣。
- %F.S. 表示誤差占滿量程的百分比。
- %S.P. 表示誤差占設定值的百分比。
- 反應時間是指達到設定值 ±2% 範圍內所需的時間。
- 工作壓力指入口與出口之間的壓差。
訂購前，請與我們的團隊確認流體相容性、材質、連接方式及可用配置。
