MFC / GAS FLOW
L’aspect du produit varie selon la configuration.
Régulateur de débit massique (MFC)
SÉRIE KC600
Le régulateur de débit massique de gaz de la série KC600 associe un capteur de débit industriel à un double affichage et à une plage de débit réglable. La configuration et la surveillance sont accessibles via un logiciel PC. Les applications typiques comprennent la fabrication de semi-conducteurs, la production photovoltaïque et le dépôt sous vide.
- Plage
- 0~20 sccm à 0~20 slm (équivalent azote)
- Précision
- ±0.3%F.S. (≤30%F.S.) / ±1.0%S.P. (>30%F.S.)
- Rapport de plage
- 100:1
- Temps de réponse
- ≤0.5s
Configuration et adéquation confirmées pour votre application.
Paramètres de base
| Exigences relatives au fluide | Gaz propre, sec et non corrosif |
| Type de fluide | Air, azote, oxygène, dioxyde de carbone, hélium, hydrogène, méthane, argon, etc. |
| Plage de débit¹ (équivalent azote) | (0~20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10, 20) slm Autres plages personnalisables, contactez-nous |
| Précision | ±0.3%F.S.² (≤30%F.S.) ±1.0%S.P.³ (>30%F.S.) |
| Rapport de plage | 100:1 |
| Temps de réponse⁴ | ≤0.5s |
| Répétabilité | ≤±0.2%F.S. |
| Résolution | 0.001 sccm, ≤20 sccm 0.01 sccm, ≤100 sccm et >20 sccm 0.1 sccm, ≤1 slm et >100 sccm 1 sccm, >1 slm |
| Taux de fuite | ≤1×10⁻¹⁰ Pam³/sHe |
| Pression nominale maximale | 9.8bar |
Conditions environnementales
| Température de fonctionnement | 0~50℃ |
| Humidité de fonctionnement | 10%~90% R.H. (sans condensation) |
| Pression de fonctionnement⁵ | 0.5~4 bar, >2 slm 0.5~6 bar, ≤2 slm (selon la plage) |
| Température de stockage | -20~85℃ |
Paramètres électriques
| Alimentation électrique | DC24V |
| Consommation électrique | ≤4.0W |
| Temps de démarrage | ≤1s |
Interface de communication
| Type d’interface | D-SUB9, RJ45 |
| Commande analogique | 0-5V ou 4-20mA |
| Commande numérique | RS485 ou RS232 |
Signal numérique (RS485/RS232)
| Type d’interface | D-SUB9 ou RJ45 |
| Vitesse de transmission | 9600, 38400, 115200 (par défaut) |
| Protocole | Modbus-RTU |
| Adresse de l’appareil | 1 (par défaut) ~99 |
Paramètres mécaniques
| Type de connecteur | Bague : 1/4 inch VCR : 1/4 inch Autres options disponibles |
| Matériaux en contact avec le fluide | Acier inoxydable 316L, élastomère fluoré, silice |
| Matériau du corps | Embase : acier inoxydable 316L Boîtier : alliage d’aluminium |
| Matériau des joints | Élastomère fluoré FKM |
| Poids | 0.95kg |
Conditions de mesure et remarques
- Sauf indication contraire, ce produit est étalonné dans les conditions suivantes : azote, 25℃, pression différentielle de 2.5 bar (entrée 3.5 barA, sortie 1 barA), position horizontale.
- Il est recommandé d’installer une section droite de conduite de taille appropriée à l’entrée, sinon un écart de précision peut survenir.
- Il est recommandé d’utiliser les raccords les plus grands possibles à l’entrée et à la sortie pour éviter une perte de charge supplémentaire.
- Les plages indiquées sont disponibles pour l’azote.
- %F.S. désigne l’erreur en pourcentage de la pleine échelle.
- %S.P. désigne l’erreur en pourcentage de la consigne.
- Le temps de réponse correspond au temps nécessaire pour atteindre ±2% de la consigne.
- La pression de fonctionnement désigne la pression différentielle entre l’entrée et la sortie.
Confirmez la compatibilité des fluides, les matériaux, les raccords et les configurations disponibles avec notre équipe avant de commander.
