压力不敏感全量程响应SEMI标准
气体质量流量控制器(MFC)
KC800系列
KC800系列压力不敏感数字质量流量控制器，具有高精度流量控制、全量程快速响应、压力不敏感特性、量程/气体切换功能。内置显示，操作友好，严格遵循SEMI标准。专为半导体工艺设计。
核心参数
量程范围0~10sccm ~ 0~10slm（氮气当量）
精度±1.0%S.P. (>25%F.S.) / ±0.25%F.S. (≤25%F.S.)
量程比50:1
响应时间≤1s
线性度≤±0.5%F.S.
通讯接口DeviceNet / RS485
应用领域
新能源/氢能源
微量元素分析
生物工艺
石油天然气
化工与材料
实验室/高校
型号规格
| 基本参数 | |
| 介质要求 | 洁净、干燥气体 |
| 量程范围¹（氮气当量） | (0~10, 20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10) slm 其他量程可定制，详情请咨询 |
| 精度 | ±1.0%S.P.² (>25%F.S.) ±0.25%F.S.³ (≤25%F.S.) |
| 量程比 | 50:1 |
| 响应时间⁴ | ≤1s |
| 线性度 | ≤±0.5%F.S. |
| 重复性 | ≤±0.2%F.S. |
| 泄漏率 | ≤1×10⁻⁹ Pam³/sHe |
| 压力特性 | |
| 工作压差 | 50~300 kPa |
| 压力波动补偿 | ≤±(5.0%S.P.+1.5%F.S.) @5psi/s |
| 最大耐压 | 500 kPa |
| 环境条件 | |
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 工作湿度 | 10%~90% R.H.（无结冰、无结霜） |
| 储存温度 | -20~85℃ |
| 电气参数 | |
| 供电电压 | DC24V |
| 功耗 | ≤4.0W |
| 启动时间 | ≤1s |
| 通讯接口 | |
| 数字通讯 | DeviceNet 或 RS485 |
| 模拟控制 | 0~5V |
| 机械参数 | |
| 接头类型 | VCR：1/4 inch、1/2 inch 卡套：1/4 inch、1/2 inch |
| 接触介质材质 | 316L不锈钢 |
| 密封材质 | FKM氟橡胶或全金属 |
| 重量 | 1.2kg |
•除非另有说明，本产品在以下条件下校准：氮气、25℃、水平放置。
•%S.P.指误差占设定值百分比。
•%F.S.指误差占满量程百分比。
•响应时间指达到设定值±2%所需时间。
•压力不敏感特性：在规定压差范围内，流量控制不受入口压力波动影响。
产品特点
压力不敏感
不受压力波动影响
全量程响应
全量程精确控制
SEMI标准
符合半导体行业标准
快速响应
≤1s响应时间
内置显示
操作友好直观
DeviceNet
工业总线通讯
应用领域
新能源/氢能源
微量元素分析
生物工艺
石油天然气
化工与材料
实验室/高校
