高精度控制快速响应多通讯
气体质量流量控制器(MFC)
KC300系列
KC300系列热式气体质量流量控制器采用MEMS热式流量传感技术，具有高精度、快速响应、稳定性好等特点。支持4-20mA模拟信号输入输出控制和RS485/Modbus RTU通讯，适用于工业自动化、环境监测、实验室研究等领域。
核心参数
量程范围10~500 SCCM / 1~300 SLM
控制精度±1.0% S.P.
测量精度±1.0% F.S.
量程比100:1
响应时间控制<1.5s (T90) / 测量<50ms
通讯接口RS485 / Modbus RTU / 4-20mA
应用领域
医疗健康
半导体
生物工艺
表面处理
实验室/高校
新能源/氢能源
型号规格
| 基本参数 | |
| 介质类型 | 空气、氮气、氧气、甲烷、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、丙烷等 |
| 量程范围 | 小流量型：10, 20, 50, 100, 200, 500 SCCM 大流量型：1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200, 300 SLM 其他量程可定制，详情请咨询 |
| 控制精度 | ±1.0% S.P.（设定值百分比） |
| 测量精度 | ±1.0% F.S.（满量程百分比） |
| 量程比 | 100:1 |
| 控制响应时间 | <1.5s (T90) |
| 测量响应时间 | <50ms |
| 重复性 | ±0.5% F.S. |
| 零点漂移 | ±1% F.S./年 |
| 泄漏率 | 内泄漏<0.5% F.S. 外泄漏<1×10⁻⁹ atm cc/s He |
| 最大耐压 | 3.0 MPa |
| 环境条件 | |
| 工作温度 | -10~55℃ |
| 储存温度 | -20~70℃ |
| 测量工作压力 | 0~1.5 MPa |
| 控制工作压力 | 根据具体量程规格确定 |
| 电气参数 | |
| 供电电压 | DC 24V ±10% |
| 功耗 | <10W |
| 启动时间 | <3s |
| 控制与通讯 | |
| 阀类型 | 常闭型电磁比例阀 |
| 控制信号输入 | 4~20mA |
| 流量信号输出 | 4~20mA |
| 数字通讯 | RS485 / Modbus RTU协议 |
| 机械参数 | |
| 气路材质 | 316L不锈钢 |
| 密封材质 | Viton (FKM) |
| 接口类型 | 卡套、VCR、NPT等可选 |
| 重量 | 约0.8kg |
•除非另有说明，本产品在以下条件下校准：氮气、25℃、水平放置。
•控制精度指误差占设定值百分比（%S.P.）。
•测量精度指误差占满量程百分比（%F.S.）。
•T90响应时间指达到最终稳定值90%所需时间。
•工作压力指入口与出口之间的压差。
产品特点
高精度控制
±1.0% S.P.控制精度
快速响应
T90<1.5s控制响应
MEMS技术
热式流量传感技术
稳定可靠
长期稳定性好
多通讯方式
RS485/Modbus/4-20mA
宽工作温度
-10~55℃温度范围
应用领域
医疗健康
半导体
生物工艺
表面处理
实验室/高校
新能源/氢能源
