抗污染EtherCAT耐腐蚀
气体质量流量控制器(MFC)
KC200系列
KC200系列高性能MFC专为高端设备定制，具有抗污染、防尘、耐腐蚀特点。维护简单、性价比高、交货期短。支持EtherCAT和RS485两种版本，适用于半导体、光伏、真空镀膜等行业。
核心参数
量程范围0~10sccm ~ 0~400slm（氮气当量）
精度±0.3%F.S. (≤30%F.S.) / ±1.0%S.P. (>30%F.S.)
量程比50:1
响应时间控制器≤1s / 流量计≤10ms
通讯接口EtherCAT / RS485 / 0-5V / 4-20mA
工作压力控制器最大6bar / 流量计10bar
应用领域
化工与材料
生物工艺
石油天然气
微量元素分析
实验室/高校
半导体
型号规格
| 基本参数 | |
| 介质要求 | 洁净干燥气体 |
| 介质类型 | 空气、氮气、氧气、二氧化碳、氢气、甲烷、氨气、硅烷、三氯化硼、氯气等 |
| 量程范围¹（氮气当量） | (0~10, 20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10, 20, 50) slm (0~100, 200, 400) slm ——量程≥100 slm时采用外置阀门结构 ——其他量程可选，详情请咨询 |
| 精度 | ±0.3%F.S.² (≤30%F.S.) ——%F.S.指误差占满量程百分比 ±1.0%S.P.³ (>30%F.S.) ——%S.P.指误差占设定值百分比 |
| 量程比 | 50:1 |
| 响应时间⁴ | 控制器：≤1s 流量计：≤10ms ——响应时间指达到设定值或最终稳定值±2%所需时间 |
| 重复性 | ≤±0.2%F.S. |
| 分辨率 | 0.01 sccm, ≤100 sccm 1 sccm, >100 sccm |
| 泄漏率 | 氟橡胶密封：≤4×10⁻¹⁰ Pam³/sHe 全金属密封：≤1×10⁻¹² Pam³/sHe ——量程≥100 slm时暂不提供全金属密封版本 |
| 最大耐压 | 10bar |
| 环境条件 | |
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 工作湿度 | 10%~90% R.H.（无结冰、无结霜） |
| 工作压力⁵ | 控制器：最大6 bar（可定制） 流量计：10 bar ——工作压力指入口与出口之间的压差 |
| 储存温度 | -20~85℃ |
| 电气参数 | |
| 供电电压 | DC24V |
| 功耗 | ≤2.7W |
| 启动时间 | ≤1s |
| 通讯接口 | |
| EtherCAT版本 | RJ45双网口（带指示灯），设备地址1-999 可通过上位机或指令修改 |
| RS485版本 | DB9M接口或RJ45双网口；Modbus-RTU协议 可选MKS协议；设备地址1-99 通讯速率支持9600、19200（默认）、38400等 可通过拨码开关修改 |
| 模拟信号（RS485版本可选） | 0-5V 或 4-20mA（通过DB9M接口） |
| 显示屏 | EtherCAT版本：有（位于顶部） RS485版本：无 |
| 机械参数 | |
| 接头类型 | 卡套：1/4inch、1/2inch；VCR：1/4inch、1/2inch；其他可选 |
| 接触介质材质 | 氟橡胶密封：316L不锈钢、氟橡胶、氮化硅 全金属密封：316L不锈钢 ——量程≥100slm时暂不提供全金属密封版本 |
| 主体材质 | 基座：316L不锈钢 外壳：铝合金 |
| 密封材质 | FKM氟橡胶或全金属 |
| 重量 | 控制器：0.85kg~2.8kg 流量计：0.80kg |
•除非另有说明，本产品在以下条件下校准：氮气、25℃、2.5 bar压差（入口3.5 barA、出口1 barA）、水平放置。
•建议在入口安装适当尺寸的直管段，否则可能导致精度偏差。
•建议在入口和出口使用尽可能大的接头，以避免造成额外的压力损失。
•所示量程为氮气可选量程。
•%F.S.指误差占满量程百分比。
•%S.P.指误差占设定值百分比。
•响应时间指达到设定值±2%所需时间。
•工作压力指入口与出口之间的压差。
产品特点
抗污染设计
防尘耐腐蚀结构
高精准
±0.3%F.S.精度
EtherCAT
高速实时通讯
耐腐蚀
316L不锈钢材质
快速响应
控制器≤1s响应
多种密封
氟橡胶/全金属密封
应用领域
化工与材料
生物工艺
石油天然气
微量元素分析
实验室/高校
半导体
