抗电磁干扰温度补偿体积小巧
气体质量流量控制器(MFC)
KC80
KC80系列数字流量控制器具有抗电磁干扰、高精度、体积小、温度补偿、低泄漏率特点。抗污染、防尘、响应速度快。在宽温度范围内实现高精度工作，性价比高。采用DT4C外壳材质，适用于配气仪、分析仪、真空镀膜、焊接、晶炉、等离子清洗等应广泛用场景。
核心参数
量程范围0~10sccm ~ 0~20slm（氮气当量）
精度±0.8%F.S. 或 ±1.0%S.P.（取较大值）
量程比100:1
响应时间≤1s
重复性≤±0.2%F.S.
通讯接口RS485 / RS232 / 0-5V / 4-20mA
应用领域
微量元素分析
其他行业
医疗健康
实验室/高校
半导体
新能源/氢能源
型号规格
| 基本参数 | |
| 介质要求 | 洁净、干燥、无腐蚀性气体 |
| 介质类型 | 空气、氮气、氧气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氩气等 |
| 量程范围¹（氮气当量） | (0~10, 20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10, 20) slm 其他量程可定制，详情请咨询 |
| 精度 | ±0.8%F.S.² 或 ±1.0%S.P.³ 取较大值 |
| 量程比 | 100:1 |
| 响应时间⁴ | ≤1s |
| 重复性 | ≤±0.2%F.S. |
| 分辨率 | 0.01 sccm, ≤100 sccm 0.1 sccm, ≤1 slm且>100 sccm 1 sccm, ≤5 slm且>1 slm 0.01 slm, >5 slm |
| 泄漏率 | ≤1×10⁻⁹ Pam³/sHe |
| 最大耐压 | 9.8bar |
| 环境条件 | |
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 工作湿度 | 10%~90% R.H.（无结冰、无结霜） |
| 工作压力⁵ | 0.5~4 bar, >2 slm 0.5~6 bar, ≤2 slm （与具体量程相关） |
| 储存温度 | -20~85℃ |
| 电气参数 | |
| 供电电压 | DC24V |
| 功耗 | ≤2.7W |
| 启动时间 | ≤1s |
| 通讯接口 | |
| 接口类型 | D-SUB9 |
| 模拟控制 | 0~5V 或 4~20mA |
| 数字控制 | RS485 或 RS232 |
| 数字信号（RS485/RS232） | |
| 接口类型 | D-SUB9 |
| 通讯速率 | 9600（默认）、14400、19200、38400、56000、57600、115200 可通过指令或上位机修改 |
| 协议 | Modbus-RTU |
| 设备地址 | 1（默认）~250 可通过指令或上位机修改 |
| 机械参数 | |
| 接头类型 | 卡套：8mm、1/4inch、1/8inch 其他可选 |
| 接触介质材质 | 316L不锈钢、氟橡胶、二氧化硅 |
| 主体材质 | 基座：316L不锈钢 外壳：铝合金（KC80）/ DT4C（E-P100系列） |
| 密封材质 | FKM氟橡胶 |
| 重量 | 0.90kg |
•除非另有说明，本产品在以下条件下校准：氮气、25℃、2.5 bar压差（入口3.5 barA、出口1 barA）、水平放置。
•建议在入口安装适当尺寸的直管段，否则可能导致精度偏差。
•建议在入口和出口使用尽可能大的接头，以避免造成额外的压力损失。
•所示量程为氮气可选量程。
•%F.S.指误差占满量程百分比。
•%S.P.指误差占设定值百分比。
•响应时间指达到设定值±2%所需时间。
•工作压力指入口与出口之间的压差。
产品特点
抗电磁干扰
电磁兼容性优异
高精准
±0.8%F.S.精度
温度补偿
宽温度范围稳定
快速响应
≤1s控制响应
体积小巧
紧凑型设计
多通讯
RS485/RS232/模拟量
应用领域
微量元素分析
其他行业
医疗健康
实验室/高校
半导体
新能源/氢能源
