高精准稳定可靠易于集成
流体解决方案(FCS)
QT-COMP无管道紧凑型解决方案
QT-COMP无管道紧凑型解决方案专为追求高空间效率的OEM和系统集成商设计。在紧凑、轻巧但坚固的模块化底座轨道上，可集成一个或多个质量流量/压力传感器模块，搭配控制阀、截止阀、混合腔、过滤器等功能模块。无管道结构设计大幅减少潜在泄漏点，底部连接方式方便上下安装，支持3~9通道灵活配置。出厂前已完成组装测试，实现"即插即用"，大幅减少用户端调试时间。广泛应用于半导体、分析仪器、生物技术、化工装置等领域。
核心要点
- 高精度测量与控制，流体解决方案(FCS)专业解决方案
- 采用MEMS热式流量传感芯片技术，响应快速
- 支持RS485/Modbus/4-20mA等多种通讯方式
- 广泛应用于半导体、新能源、生物医药等行业
- 提供专业选型支持和完善售后服务
核心参数
流量范围0.06~3 mln/min 至 1~50 Ln/min（N₂当量）
精度（流量）±0.5%Rd ±0.1%FS（标准）；小量程±1%FS
压力范围2~100 mbar 至 0.2~10 bar（绝压/表压）
精度（压力）±0.5%FS
调节时间≤1.2秒（5%FS以上典型值）
控制稳定性< ±0.1%FS
应用领域
AI数据中心
水处理
半导体
石油天然气
分析行业
表面处理
型号规格
| 核心性能参数 | |
| 流量测量/控制范围 | 0.06~3 mln/min 至 1~50 Ln/min（N₂当量），更高量程可定制 |
| 测量精度（流量） | ±0.5%Rd ±0.1%FS（标准）；≤3.5 mln/min量程为±1%FS |
| 量程比 | 1:50（数字模式可达1:187.5） |
| 重复精度 | <0.1%FS；<0.2%Rd |
| 调节时间 | ≤1.2秒（5%FS以上典型值） |
| 控制稳定性 | < ±0.1%FS（典型值，1 Ln/min N₂） |
| 传感器响应时间 | <0.1秒 |
| 零点温度系数 | <0.05%FS/°C |
| 跨度温度系数 | <0.05%Rd/°C |
| 压力灵敏度 | N₂典型值0.1%Rd/bar |
| 预热时间 | 2分钟达±2%FS精度；30分钟达最佳精度 |
| 压力模块参数 | |
| 压力传感器范围 | 2~100 mbar 至 0.2~10 bar（绝压或表压可选） |
| 压力控制范围 | 5~100 mbar 至 0.5~10 bar（电子压力控制器） |
| 压力精度 | ±0.5%FS |
| 机械与电气参数 | |
| 最大工作压力 | 10 bar（表压） |
| 工作温度范围 | -10°C ~ +50°C |
| 通道配置 | 支持3~9通道，可灵活扩展 |
| 底座材质 | 阳极氧化铝合金；316L不锈钢（可选） |
| 接液材质 | 316L不锈钢 |
| 密封材质 | 标准EPDM；可选Viton、Kalrez（FFKM） |
| 过滤模块 | 烧结不锈钢过滤器，0.5/2/7/15 µm可选 |
| 阀门类型 | 常闭/常开控制阀；电磁阀（截止阀/三通阀） |
| 阀门Kv值 | 最大Kv=1.0 |
| 阀门最高温度 | 50°C |
| 供电电源 | 15~24 Vdc |
| 功耗（控制器） | 最大320 mA |
| 功耗（流量计） | 约70 mA |
| 电磁阀功耗 | 3W |
| 模拟输出 | 0-10Vdc（负载>2kΩ）；0-20mA/4-20mA（负载<375Ω） |
| 模拟设定 | 0(4)-20mA；0-(5)10Vdc |
| 数字通讯 | RS232/RS485、Modbus RTU/TCP、DeviceNet、PROFIBUS DP、PROFINET、EtherCAT、FLOW-BUS |
| 电气接口 | 模拟/RS232/PROFIBUS：9针D-sub公头；DeviceNet：5针M12公头；Modbus/EtherCAT/PROFINET：RJ45 |
| 安装方式 | 底部安装孔，支持面板/支架安装；任意方向安装 |
| 防护等级 | IP40 |
| 洁净组装 | 可在无尘室组装、测试、包装（按需） |
•QT-COMP采用无管道（Tubeless）表面贴装技术，所有功能模块集成在一体化底座上，大幅减少传统管路连接带来的泄漏风险和安装空间。
•模块化设计支持灵活配置：可根据需求组合质量流量计/控制器、压力传感器/控制器、过滤器、混合腔、截止阀、三通阀等功能模块。
•底部连接设计使系统可从上方方便地维护和更换模块，无需拆卸底部管路。
•出厂前完成全功能测试和校准，"即插即用"大幅减少现场调试时间和成本。
•支持多种工业通讯协议，可无缝接入PLC/DCS/DCIM等上位机系统。
•可配置面密封接头、卡套接头或法兰连接，满足不同行业需求。
•典型应用：半导体气相沉积/刻蚀、分析仪器载气控制、生物反应器气体配比、化工过程控制、真空/等离子/溅射镀膜、燃烧控制、催化剂评价等。
产品特点
精准配比
高精度气体混配
多气体兼容
支持多种气体组合
安全可靠
工业级安全设计
智能控制
自动化配比调节
快速响应
实时配比调整
系统集成
适配多种终端
应用领域
AI数据中心
水处理
半导体
石油天然气
分析行业
表面处理
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常见问题
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最后更新: 2026-08-07(内容定期更新)