双屏显示量程可调高精准
气体质量流量控制器(MFC)
KC600系列
KC600系列气体质量流量控制器采用新一代工业级流量传感器芯片与气路结构结合，双屏显示，支持量程调节。快速响应、高精度，配备专用上位机，认证产品。适用于半导体、光伏、真空镀膜等领域。
核心参数
量程范围0~20sccm ~ 0~20slm（氮气当量）
精度±0.3%F.S. (≤30%F.S.) / ±1.0%S.P. (>30%F.S.)
量程比100:1
响应时间≤0.5s
重复性≤±0.2%F.S.
通讯接口RS485 / RS232 / 0-5V / 4-20mA
应用领域
石油天然气
其他行业
食品制药
生物工艺
化工与材料
水处理
型号规格
| 基本参数 | |
| 介质要求 | 洁净、干燥、无腐蚀性气体 |
| 介质类型 | 空气、氮气、氧气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氩气等 |
| 量程范围¹（氮气当量） | (0~20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10, 20) slm 其他量程可定制，详情请咨询 |
| 精度 | ±0.3%F.S.² (≤30%F.S.) ±1.0%S.P.³ (>30%F.S.) |
| 量程比 | 100:1 |
| 响应时间⁴ | ≤0.5s |
| 重复性 | ≤±0.2%F.S. |
| 分辨率 | 0.001 sccm, ≤20 sccm 0.01 sccm, ≤100 sccm且>20 sccm 0.1 sccm, ≤1 slm且>100 sccm 1 sccm, >1 slm |
| 泄漏率 | ≤1×10⁻¹⁰ Pam³/sHe |
| 最大耐压 | 9.8bar |
| 环境条件 | |
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 工作湿度 | 10%~90% R.H.（无结冰、无结霜） |
| 工作压力⁵ | 0.5~4 bar, >2 slm 0.5~6 bar, ≤2 slm （与具体量程相关） |
| 储存温度 | -20~85℃ |
| 电气参数 | |
| 供电电压 | DC24V |
| 功耗 | ≤4.0W |
| 启动时间 | ≤1s |
| 通讯接口 | |
| 接口类型 | D-SUB9、RJ45 |
| 模拟控制 | 0-5V 或 4-20mA |
| 数字控制 | RS485 或 RS232 |
| 数字信号（RS485或RS232） | |
| 接口类型 | D-SUB9 或 RJ45 |
| 通讯速率 | 9600、38400、115200（默认） |
| 协议 | Modbus-RTU |
| 设备地址 | 1（默认）~99 |
| 机械参数 | |
| 接头类型 | 卡套：1/4 inch VCR：1/4 inch 其他可选 |
| 接触介质材质 | 316L不锈钢、氟橡胶、二氧化硅 |
| 主体材质 | 基座：316L不锈钢 外壳：铝合金 |
| 密封材质 | FKM氟橡胶 |
| 重量 | 0.95kg |
•除非另有说明，本产品在以下条件下校准：氮气、25℃、2.5 bar压差（入口3.5 barA、出口1 barA）、水平放置。
•建议在入口安装适当尺寸的直管段，否则可能导致精度偏差。
•建议在入口和出口使用尽可能大的接头，以避免造成额外的压力损失。
•所示量程为氮气可选量程。
•%F.S.指误差占满量程百分比。
•%S.P.指误差占设定值百分比。
•响应时间指达到设定值±2%所需时间。
•工作压力指入口与出口之间的压差。
产品特点
双屏显示
流量与设定值同屏
量程可调
现场可调量程
高精准
±0.3%F.S.精度
快速响应
≤0.5s响应
认证产品
配备专用上位机
多通讯
RS485/RS232/模拟量
应用领域
石油天然气
其他行业
食品制药
生物工艺
化工与材料
水处理
