Série KP300

Le régulateur de pression compact de la série KP300 est conçu pour être intégré aux équipements nécessitant une régulation stable et répétable de la pression. Ses applications comprennent le refroidissement à l’hélium de la face arrière des plaquettes, la régulation de pression dans les systèmes de distribution de précurseurs liquides et la distribution de vapeur MOCVD.

Plages de pression disponibles: 0–50 ou 0–100 Torr
Précision de régulation de pression: ±0.5%F.S.
Étendue de régulation: 1–100% de la pleine échelle
Temps de réponse: ≤1s

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Configuration et adéquation confirmées pour votre application.

Paramètres de régulation de pression

Plages de pression disponibles	0–50 ou 0–100 Torr
Précision de régulation de pression	±0.5%F.S.
Étendue de régulation	1–100% de la pleine échelle
Temps de réponse	≤1s

Paramètres de détection du débit

Plage de mesure du débit (ammoniac)	0~20/50/100 sccm (contactez-nous pour d’autres plages)
Précision de détection du débit	0~25%F.S.: <0.3%F.S. >25%F.S.: 1%RD

Taux de fuite

Taux de fuite externe	≤1×10⁻¹² Pa·m³/s (azote)
Taux de fuite interne	<0.1 sccm (azote)

Paramètres électriques

Alimentation électrique	18~32V (24V recommandé)
Sortie du signal de pression	0~10V
Sortie du signal de débit	0~5V

Interface de communication

Communication

RS485, EtherCAT, DeviceNet

Paramètres mécaniques

Type de connecteur	1/4 VCR
Plage de pression d’entrée	1.5~3 bar

Conditions environnementales

Température de fonctionnement

15~40℃

Conditions de mesure et remarques

La série KP300 se distingue par son format ultracompact, adapté à l’intégration aux systèmes.
Solution économique à haute précision et haute résolution.
Convient aux systèmes de refroidissement à l’hélium des plaquettes de semi-conducteurs, aux systèmes de régulation de pression des sources liquides et à la régulation de pression de vapeur MOCVD.

Confirmez la compatibilité des fluides, les matériaux, les raccords et les configurations disponibles avec notre équipe avant de commander.