Serie KP300

El controlador de presión compacto de la serie KP300 está diseñado para integrarse en equipos que requieren un control de presión estable y repetible. Sus aplicaciones incluyen la refrigeración con helio de la cara posterior de obleas, el control de presión en sistemas de suministro de precursores líquidos y el suministro de vapor para MOCVD.

Rangos de presión disponibles: 0–50 o 0–100 Torr
Exactitud del control de presión: ±0.5%F.S.
Amplitud de control: 1–100% del fondo de escala
Tiempo de respuesta: ≤1s

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Configuración e idoneidad confirmadas para su aplicación.

Parámetros de control de presión

Rangos de presión disponibles	0–50 o 0–100 Torr
Exactitud del control de presión	±0.5%F.S.
Amplitud de control	1–100% del fondo de escala
Tiempo de respuesta	≤1s

Parámetros de detección de caudal

Rango de medición de caudal (amoníaco)	0~20/50/100 sccm (contáctenos para otros rangos)
Exactitud de detección de caudal	0~25%F.S.: <0.3%F.S. >25%F.S.: 1%RD

Tasa de fuga

Tasa de fuga externa	≤1×10⁻¹² Pa·m³/s (nitrógeno)
Tasa de fuga interna	<0.1 sccm (nitrógeno)

Parámetros eléctricos

Alimentación	18~32V (24V recomendado)
Salida de señal de presión	0~10V
Salida de señal de caudal	0~5V

Interfaz de comunicación

Comunicación

RS485, EtherCAT, DeviceNet

Parámetros mecánicos

Tipo de conector	1/4 VCR
Rango de presión de entrada	1.5~3 bar

Condiciones ambientales

Temperatura de funcionamiento

15~40℃

Condiciones y notas de medición

La serie KP300 presenta un tamaño ultracompacto, adecuado para la integración en sistemas.
Solución rentable con alta precisión y alta resolución.
Adecuado para sistemas de refrigeración con helio de obleas semiconductoras, sistemas de control de presión de fuentes líquidas y control de presión de vapor MOCVD.

Confirme con nuestro equipo la compatibilidad del fluido, los materiales, las conexiones y la configuración disponible antes de realizar el pedido.