Série KP200

Le régulateur de pression de gaz de la série KP200 utilise des joints entièrement métalliques et permet la régulation de la pression amont. La pression de régulation de pleine échelle est de 1,200 mbar. Les options d’interface comprennent RS-485 et EtherCAT, avec une option de signal analogique 0–5 V. Ses applications comprennent la fabrication de semi-conducteurs, la production photovoltaïque et le dépôt sous vide.

Type de pression: Pression absolue
Pression de régulation pleine échelle: 1200mBar
Précision de régulation de pression: ±1%SP(≥10%FS) / 0.2%FS(<10%FS)
Temps de réponse: <1s

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Paramètres de base

Type de pression	Pression absolue
Pression de régulation pleine échelle	1200 mBar
Pression nominale maximale	3 MPa
Mode de régulation	Amont
Débit de pleine échelle de la vanne	2, 3, 5 SLM
Temps de réponse	<1 s
Coefficient de température	<0.02%FS/℃
Résolution de pression	0.1 mBar
Précision de régulation de pression	±1%SP(≥10%FS) / 0.2%FS(<10%FS)

Raccordements au procédé

Raccordements au procédé	Raccord à compression 1/4 inch, VCR 1/4 inch
Raccordement électrique	M8, doubles ports RJ45, DB9M
Communication	RS485, EtherCAT, 0~5V

Spécifications de la vanne

Types de vannes	Normalement fermé
Taux de fuite externe	<1×10⁻¹² Pa·m³/s (He)
Taux de fuite interne	<0.1%FS

Paramètres électriques

Alimentation électrique

15~24VDC

Conditions environnementales

Température de fonctionnement

10~50 ℃

Conditions de mesure et remarques

Le régulateur de pression de gaz KP200 utilise des joints entièrement métalliques pour une régulation stable et répétable de la pression.
Applications : semi-conducteurs, production photovoltaïque et dépôt sous vide.

Confirmez la compatibilité des fluides, les matériaux, les raccords et les configurations disponibles avec notre équipe avant de commander.