MFC / GAS FLOW
L’aspect du produit varie selon la configuration.
Régulateur de débit massique (MFC)
Série KC800
Le régulateur numérique de débit massique de la série KC800 est conçu pour maintenir une régulation stable du débit malgré les variations de pression d’entrée. Un afficheur intégré facilite l’utilisation et la configuration, notamment la sélection du gaz et le réglage de la plage. Il est destiné aux procédés de fabrication de semi-conducteurs.
- Plage
- 0~10 sccm à 0~10 slm (équivalent azote)
- Précision
- ±1.0%S.P. (>25%F.S.) / ±0.25%F.S. (≤25%F.S.)
- Rapport de plage
- 50:1
- Temps de réponse
- ≤1s
Configuration et adéquation confirmées pour votre application.
Paramètres de base
| Exigences relatives au fluide | Gaz propre et sec |
| Plage de débit¹ (équivalent azote) | (0~10, 20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10) slm Autres plages personnalisables, contactez-nous |
| Précision | ±1.0%S.P.² (>25%F.S.) ±0.25%F.S.³ (≤25%F.S.) |
| Rapport de plage | 50:1 |
| Temps de réponse⁴ | ≤1s |
| Linéarité | ≤±0.5%F.S. |
| Répétabilité | ≤±0.2%F.S. |
| Taux de fuite | ≤1×10⁻⁹ Pam³/sHe |
Caractéristiques de pression
| Pression différentielle de fonctionnement | 50~300 kPa |
| Compensation des variations de pression | ≤±(5.0%S.P.+1.5%F.S.) @5psi/s |
| Pression nominale maximale | 500 kPa |
Conditions environnementales
| Température de fonctionnement | 0~50℃ |
| Humidité de fonctionnement | 10%~90% R.H. (sans condensation) |
| Température de stockage | -20~85℃ |
Paramètres électriques
| Alimentation électrique | DC24V |
| Consommation électrique | ≤4.0W |
| Temps de démarrage | ≤1s |
Interface de communication
| Communication numérique | DeviceNet ou RS485 |
| Commande analogique | 0~5V |
Paramètres mécaniques
| Type de connecteur | VCR : 1/4 inch, 1/2 inch Raccord à bague : 1/4 inch, 1/2 inch |
| Matériaux en contact avec le fluide | Acier inoxydable 316L |
| Matériau des joints | Élastomère fluoré FKM ou entièrement métallique |
| Poids | 1.2kg |
Conditions de mesure et remarques
- Sauf indication contraire, ce produit est étalonné dans les conditions suivantes : azote, 25℃, position horizontale.
- %S.P. désigne l’erreur en pourcentage de la consigne.
- %F.S. désigne l’erreur en pourcentage de la pleine échelle.
- Le temps de réponse correspond au temps nécessaire pour atteindre ±2% de la consigne.
- Insensible à la pression : dans la plage de pression différentielle spécifiée, les variations de pression d’entrée n’affectent pas la régulation du débit.
Confirmez la compatibilité des fluides, les matériaux, les raccords et les configurations disponibles avec notre équipe avant de commander.
