MFC / GAS FLOW
Das Erscheinungsbild des Produkts variiert je nach Konfiguration.
Massendurchflussregler (MFC)
Baureihe KC200
Der Massendurchflussregler der Serie KC200 ist für die Geräteintegration in der Halbleiterfertigung, Photovoltaikproduktion und Vakuumbeschichtung ausgelegt. Ausführungen mit EtherCAT und RS-485 sind verfügbar. Angaben zu medienberührten Werkstoffen, Dichtungsoptionen und Gasverträglichkeit finden Sie in den technischen Daten des jeweiligen Modells.
- Bereich
- 0~10 sccm bis 0~400 slm (Stickstoffäquivalent)
- Genauigkeit
- ±0.3%F.S. (≤30%F.S.) / ±1.0%S.P. (>30%F.S.)
- Messbereichsverhältnis
- 50:1
- Ansprechzeit
- Regler ≤1s / Messgerät ≤10ms
Konfiguration und Eignung für Ihre Anwendung bestätigt.
Grundparameter
| Medienanforderung | Sauberes, trockenes Gas |
| Medientyp | Luft, Stickstoff, Sauerstoff, Kohlendioxid, Wasserstoff, Methan, Ammoniak, Silan, Bortrichlorid, Chlor usw. |
| Durchflussbereich¹ (Stickstoffäquivalent) | (0~10, 20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10, 20, 50) slm (0~100, 200, 400) slm ——Bereiche ≥100 slm verwenden ein externes Ventil ——Weitere Bereiche auf Anfrage erhältlich |
| Genauigkeit | ±0.3%F.S.² (≤30%F.S.) ——%F.S. bezeichnet die Abweichung in Prozent des Skalenendwerts ±1.0%S.P.³ (>30%F.S.) ——%S.P. bezeichnet die Abweichung in Prozent des Sollwerts |
| Messbereichsverhältnis | 50:1 |
| Ansprechzeit⁴ | Regler: ≤1s Messgerät: ≤10ms ——Die Ansprechzeit bezeichnet die Zeit bis zum Erreichen von ±2% des Sollwerts oder des endgültigen stabilen Werts |
| Wiederholbarkeit | ≤±0.2%F.S. |
| Auflösung | 0.01 sccm, ≤100 sccm 1 sccm, >100 sccm |
| Leckrate | FKM-Dichtung: ≤4×10⁻¹⁰ Pam³/sHe Ganzmetalldichtung: ≤1×10⁻¹² Pam³/sHe ——Ausführung mit Ganzmetalldichtung für Bereiche ≥100 slm nicht erhältlich |
| Maximale Druckfestigkeit | 10bar |
Umgebungsbedingungen
| Betriebstemperatur | 0~50℃ |
| Betriebsluftfeuchtigkeit | 10%~90% R.H. (keine Kondensation) |
| Betriebsdruck⁵ | Regler: max. 6 bar (anpassbar) Messgerät: 10 bar ——Der Betriebsdruck bezeichnet die Druckdifferenz zwischen Einlass und Auslass |
| Lagertemperatur | -20~85℃ |
Elektrische Parameter
| Stromversorgung | DC24V |
| Leistungsaufnahme | ≤2.7W |
| Anlaufzeit | ≤1s |
Kommunikationsschnittstelle
| EtherCAT-Ausführung | RJ45-Doppelport (mit LED), Geräteadresse 1-999 Über Hostsoftware oder Befehl konfigurierbar |
| RS485-Ausführung | DB9M-Schnittstelle oder RJ45-Doppelport; Modbus-RTU-Protokoll MKS-Protokoll optional; Geräteadresse 1-99 Baudraten 9600, 19200 (Standard), 38400 usw. Über DIP-Schalter konfigurierbar |
| Analogsignal (RS485-Ausführung optional) | 0-5V oder 4-20mA (über DB9M-Schnittstelle) |
| Anzeige | EtherCAT-Ausführung: Ja (auf der Oberseite) RS485-Ausführung: Nein |
Mechanische Parameter
| Steckverbindertyp | Klemmring: 1/4inch, 1/2inch; VCR: 1/4inch, 1/2inch; Weitere erhältlich |
| Medienberührte Werkstoffe | FKM-Dichtung: Edelstahl 316L, Fluorkautschuk, Siliziumnitrid Ganzmetalldichtung: Edelstahl 316L ——Ausführung mit Ganzmetalldichtung für Bereiche ≥100 slm nicht erhältlich |
| Gehäusematerial | Grundkörper: Edelstahl 316L Gehäuse: Aluminiumlegierung |
| Dichtungswerkstoff | FKM-Fluorkautschuk oder Ganzmetall |
| Gewicht | Regler: 0.85kg~2.8kg Messgerät: 0.80kg |
Messbedingungen und Hinweise
- Sofern nicht anders angegeben, wird dieses Produkt unter folgenden Bedingungen kalibriert: Stickstoff, 25℃, 2.5 bar Differenzdruck (Eingang 3.5 barA, Ausgang 1 barA), horizontale Einbaulage.
- Am Einlass wird ein gerader Rohrabschnitt geeigneter Größe empfohlen; andernfalls können Genauigkeitsabweichungen auftreten.
- Verwenden Sie möglichst große Einlass- und Auslassanschlüsse, um zusätzliche Druckverluste zu vermeiden.
- Die angegebenen Bereiche sind für Stickstoff verfügbar.
- %F.S. bezeichnet den Fehler in Prozent des Messbereichsendwerts.
- %S.P. bezeichnet den Fehler in Prozent des Sollwerts.
- Die Ansprechzeit bezeichnet die Zeit bis zum Erreichen von ±2% des Sollwerts.
- Der Betriebsdruck bezeichnet den Differenzdruck zwischen Ein- und Ausgang.
Lassen Sie vor der Bestellung Fluidverträglichkeit, Werkstoffe, Anschlüsse und verfügbare Konfiguration von unserem Team bestätigen.
