FCS / SYSTEMS & SOLUTIONS
產品外觀因配置而異。
流體控制解決方案（FCS）
QT-COMP 整合式氣體控制系統
QT-COMP 是面向 OEM 和系統整合商的精巧型無管路氣體控制系統。流量和壓力模組可與閥門、過濾器及混氣室組合安裝在模組化歧管上，提供 3 至 9 通道配置。出廠前完成組裝和測試，可簡化調試；可從頂部操作的模組便於在空間受限的設備中進行維護。
- 流量範圍
- 0.06~3 mln/min 至 1~50 Ln/min（N₂ 當量）
- 精度（流量）
- ±0.5%Rd ±0.1%FS（標準）；低量程為 ±1%FS
- 壓力範圍
- 2~100 mbar 至 0.2~10 bar（絕壓/表壓）
- 精度（壓力）
- ±0.5%FS
針對您的應用確認配置與適用性。
核心性能
| 流量範圍 | 0.06~3 mln/min 至 1~50 Ln/min（N₂ 當量），更大量程可客製 |
| 流量精度 | ±0.5% Rd ±0.1% FS（標準）；量程 ≤3.5 mln/min 時為 ±1% FS |
| 量程比 | 1:50（數位模式下最高可達 1:187.5） |
| 重複性 | <0.1%FS; <0.2%Rd |
| 穩定時間 | ≤1.2s（高於 5%FS 時的典型值） |
| 控制穩定性 | < ±0.1%FS（1 Ln/min N₂ 的典型值） |
| 感測器反應 | <0.1s |
| 零點溫度係數 | <0.05%FS/°C |
| 量程溫度係數 | <0.05%Rd/°C |
| 壓力靈敏度 | 0.1%Rd/bar 典型值（N₂） |
| 預熱時間 | 2 min 達到 ±2%FS；30 min 達到最佳精度 |
壓力模組
| 壓力感測器量程 | 2~100 mbar 至 0.2~10 bar（可選絕壓或表壓） |
| 壓力控制範圍 | 5~100 mbar 至 0.5~10 bar（電子壓力控制器） |
| 壓力精度 | ±0.5%FS |
機械與電氣
| 最大工作壓力 | 10 bar（表壓） |
| 工作溫度 | -10°C ~ +50°C |
| 通道配置 | 3~9 通道，可擴展 |
| 歧管材質 | 陽極氧化鋁；316L 不鏽鋼（可選） |
| 接液零件 | 316L 不鏽鋼 |
| 密封材料 | 標準配置為 EPDM；Viton/Kalrez（FFKM）可選 |
| 過濾模組 | 燒結不鏽鋼過濾器，可選 0.5/2/7/15 µm |
| 閥門類型 | 常閉/常開控制閥；電磁截止閥/3 通閥 |
| 閥門 Kv 值 | 最大 Kv=1.0 |
| 閥門最高溫度 | 50°C |
| 電源 | 15~24 Vdc |
| 功率（控制器） | 最大 320 mA |
| 功率（流量計） | ~70 mA |
| 電磁線圈功率 | 3W |
| 類比輸出 | 0-10Vdc（負載>2kΩ）；0-20mA/4-20mA（負載<375Ω） |
| 類比設定值 | 0(4)-20mA; 0-(5)10Vdc |
| 數位通訊 | RS232/RS485, Modbus RTU/TCP, DeviceNet, PROFIBUS DP, PROFINET, EtherCAT, FLOW-BUS |
| 電氣連接 | 類比訊號/RS232/PROFIBUS：9 針 D-sub 公頭；DeviceNet：5 針 M12 公頭；Modbus/EtherCAT/PROFINET：RJ45 |
| 安裝 | 底部安裝孔適用於面板/支架安裝；安裝方向不限 |
| 防護 | IP40 |
| 潔淨室組裝 | 可按需提供 |
測量條件與說明
- QT-COMP 採用無管路表面安裝技術，將所有功能模組整合在統一的歧管上。與傳統管路連接相比，可顯著降低洩漏風險並減少安裝空間。
- 可根據需要組合質量流量計/控制器、壓力感測器/控制器、過濾器、混合腔、切斷閥及三通閥。
- 底部連接設計便於從上方進行維護和模組更換，無需斷開底部管路。
- 出廠前完成全面測試與校準，支援“即插即用”安裝，大幅減少現場調校時間與成本。
- 支援多種工業通訊協定，可與 PLC/DCS/DCIM 監控系統無縫整合。
- 可配置端面密封接頭、卡套接頭或法蘭，以滿足不同行業的要求。
- 典型應用：半導體 CVD/蝕刻、分析儀器載氣控制、生物反應器氣體混配、化工程序控制、真空/電漿/濺鍍、燃燒控制、催化劑評估等。
訂購前，請與我們的團隊確認流體相容性、材質、連接方式及可用配置。
