FCS / SYSTEMS & SOLUTIONS
產品外觀因配置而異。
流體控制解決方案（FCS）
QT720 系列多氣體混配系統
QT720 系列將差壓式質量流量控制器與氣體混配模組結合，實現即時壓力或流量控制，支援 MQTT 通訊、自動化運作及資料記錄。提供獨立式、桌上型和機架式配置，可將資料匯出至 CSV 檔案、資料庫或雲端平台。
- 混合精度
- ±0.6% (100sccm~20SLPM)
- 校準精度（50–5000 SLPM）
- ±0.8% R.D. 或 ±0.2% F.S.
- 重複性
- ±(0.1% R.D.+0.02% F.S.) (100sccm~20SLPM)
- 相容氣體
- 49 種純氣體 + 5 種自訂混合氣
針對您的應用確認配置與適用性。
系統配置
| 獨立運作系統 | 工廠組裝系統，具有 2–6 個通道，質量流量控制器安裝於不鏽鋼歧管上，介面朝後，尺寸為 9.2×14.0×14.2 inches |
| 臺式系統 | 2–10 通道，支援更大流量範圍，適用於製程整合；尺寸為 9.2×11.7×7.3 英寸 |
| 機架式系統 | 19 英寸 4U 工業機架安裝，2–10 通道 |
核心性能
| 混合技術 | GASKITO 氣體質量流量控制器，配備專用混合控制模組 |
| 相容氣體 | 可選 49 種純氣體，使用者可配置最多由 5 種氣體組成的混合氣（見氣體列表） |
| 混合精度 | 精度 ±0.6% |
流量與精度
| 單通道流量範圍（2–6 個 MFC 獨立系統） | 100sccm-100SLPM |
| 單通道流量範圍（2–10 個 MFC 獨立系統） | 100sccm-5000SLPM |
| 最小允許流量（100 sccm–5 SLPM） | 50sccm |
| 最小允許流量（5–100 SLPM） | 1%F.S. |
| 最小允許流量（100–5000 SLPM） | 2%F.S. |
| 單通道校準精度（100 sccm–20 SLPM） | ±0.6% R.D. 或 ±0.1% F.S.，取較大者 |
| 單通道校準精度（50–5000 SLPM） | ±0.8% R.D. 或 ±0.2% F.S. |
| 單通道重複性（100 sccm–20 SLPM） | ±（0.1% R.D.+0.02% F.S.） |
| 單通道重複性（50–5000 SLPM） | ±（0.2% R.D.+0.02% F.S.） |
| 控制響應時間 | 反應最快可達 25 ms；控制器調節參數依應用的流量、氣體及背壓進行匹配。 |
環境與連接
| 最大輸入壓力 | 145PSIG(10barG) |
| 工作溫度 | -10~60℃ |
| 氣路連接 | 1/8 英寸、1/4 英寸和 3/8 英寸；NPT、LOK、VCR 連接 |
電氣與顯示規格
| 輸入電源 | 請確認所選配置的供電電壓 |
| 電源輸出 | 24VDC |
| 顯示螢幕尺寸 | 10.1 英寸 IPS QLED 電容式多點觸控顯示螢幕，配強化玻璃 |
| 處理器與儲存 | 64 位處理器，14 GB 儲存空間 |
物理連接
| USB 2.0 | 12 |
| USB 3.0 | 2 |
| RJ45 乙太網路介面 | 1 |
自動化與整合
| 聯網與物聯網 | 支援 MQTT 連接及資料匯出至 CSV、MySQL、PostgreSQL、MSSQL 與雲平臺；支援腳本、排程任務及事件處理 |
標準配件
| 隨附配件 | 4 芯輔助電纜（EMO、24 V DC 警報輸出、類比警報輸入）、6 芯互聯電纜及 BB9-I 接線盒（僅限遠端配置）、超細纖維螢幕清潔布 |
尺寸與重量
| 獨立運作桌上型系統 | 233.68×355.6×360.68mm, 20.9kg |
| 遠端控制桌上型系統 | 234.01×299.01×188.70mm, 7.8kg |
| 遠端控制機架式系統 | 177.80×482.60×180.47mm, 8.4kg |
測量條件與說明
- 基於差壓原理的質量流量控制器，配備專用混合控制模組。
- 支援 49 種可選純氣體，以及由使用者設定、最多包含 5 種氣體的混合氣。
- MQTT 連接支援匯出至 CSV、MySQL、PostgreSQL、MSSQL 與雲平臺。
- 支援指令碼、工作排程和事件處理。
- 10.1 英寸 IPS QLED 電容式多點觸控顯示螢幕，配強化玻璃。
- 三種系統配置滿足不同安裝需求。
- 安裝前，請與我們的團隊確認輸入供電電壓。
訂購前，請與我們的團隊確認流體相容性、材質、連接方式及可用配置。
