KP200系列
高精准稳定可靠易于集成
压力测量及控制(PC)

KP200系列

KP200系列全金属密封气体压力控制器具有长期工作稳定可靠、高控制精度、良好环境适应性等特点。支持上游控制方式,全量程控制压力1200mBar,支持RS485、EtherCAT和0~5V通讯。适用于半导体、光伏、真空镀膜等行业。

核心要点

  • 高精度测量与控制,压力测量及控制(PC)专业解决方案
  • 采用MEMS热式流量传感芯片技术,响应快速
  • 支持RS485/Modbus/4-20mA等多种通讯方式
  • 广泛应用于半导体、新能源、生物医药等行业
  • 提供专业选型支持和完善售后服务

核心参数

压力类型绝压
全量程控制压力1200mBar
压力控制精度±1%SP(≥10%FS) / 0.2%FS(<10%FS)
响应时间<1s
压力分辨率0.1mBar
耐压3MPa

型号规格

基本参数
压力类型绝压
全量程控制压力1200 mBar
耐压3 MPa
控制方式上游
阀口全量程流量2、3、5 SLM
响应时间<1 s
温度系数<0.02%FS/℃
压力分辨率0.1 mBar
压力控制精度±1%SP(≥10%FS) / 0.2%FS(<10%FS)
机械接口
机械接口1/4 inch卡套、1/4 inch VCR
电气接口M8、RJ45双网口、DB9M
通讯方式RS485、EtherCAT、0~5V
阀门特性
阀门类型常闭
外漏率<1×10⁻¹² Pa·m³/s (He)
内漏率<0.1%FS
电气参数
供电电压15~24VDC
环境条件
工作温度范围10~50 ℃

KP200系列全金属密封气体压力控制器长期工作稳定可靠,高控制精度。

适用于半导体、光伏、真空镀膜等行业。

产品特点

MEMS流量芯片

高精度测量

宽量程范围

覆盖多种应用

快速响应

实时流量监测

长期稳定

压力温度不敏感

数字显示

操作简便直观

多通讯方式

便于系统集成

应用领域

其他行业
AI数据中心
食品制药
表面处理
医疗健康
生物工艺

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最后更新: 2026-08-07(内容定期更新)