高精准稳定可靠易于集成
气体质量流量计(MFM)
KM1000系列
KM1000系列气体质量流量计具有高精度、线性输出无需温度补偿、长期稳定零漂小、固态传感核心(无表面空隙或脆弱膜片)、抗堵塞和压力冲击等特点。模拟和数字输出可选，快速响应(10ms)，宽流量范围300-1000SLM，传感器抗冲击达100g。适用于光伏设备、真空泵、分析仪光谱仪、医疗设备等场景。
核心要点
- 高精度测量与控制，气体质量流量计(MFM)专业解决方案
- 采用MEMS热式流量传感芯片技术，响应快速
- 支持RS485/Modbus/4-20mA等多种通讯方式
- 广泛应用于半导体、新能源、生物医药等行业
- 提供专业选型支持和完善售后服务
核心参数
量程范围300~1000 SLM
精度≤±2.5%F.S.
分辨率0.1%F.S.
重复性≤1.0%F.S.
零点漂移≤0.5%F.S.
响应时间≤10ms
应用领域
其他行业
表面处理
新能源/氢能源
半导体
生物工艺
AI数据中心
型号规格
| 基本参数 | |
| 测量范围 | 300~1000 SLM（可选量程） |
| 精度 | ≤±2.5%F.S. |
| 分辨率 | 0.1%F.S. |
| 重复性 | ≤1.0%F.S. |
| 零点漂移 | ≤0.5%F.S. |
| 响应时间 | ≤10ms |
| 最大压力 | 1MPa（可定制） |
| 电气参数 | |
| 工作电压 | 9~24VDC（电流输出型：24VDC） |
| 工作电流 | <30mA |
| 输出阻抗 | >30kΩ |
| 通讯接口 | |
| 通讯方式 | RS485 (MODBUS) |
| 模拟电压输出 | 1~5V / 0.5~4.5V / 0~5V（可定制） |
| 模拟电流输出 | 4~20mA |
| 报警输出 | PNP/NPN（可定制） |
| 显示参数 | |
| 显示方式 | 瞬时流量/累计流量 (SLM) |
| 环境条件 | |
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 储存温度 | -20~70℃ |
| 机械参数 | |
| 接头类型 | G1/2（可定制） |
•KM1000系列采用固态传感核心，无表面空隙或脆弱膜片，抗堵塞和压力冲击。
•线性输出，无需温度补偿，长期稳定性好，零漂小。
•适用于光伏设备、真空泵、分析仪光谱仪、医疗设备等场景。
产品特点
MEMS流量芯片
高精度测量
宽量程范围
覆盖多种应用
快速响应
实时流量监测
长期稳定
压力温度不敏感
数字显示
操作简便直观
多通讯方式
便于系统集成
应用领域
其他行业
表面处理
新能源/氢能源
半导体
生物工艺
AI数据中心
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常见问题
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最后更新: 2026-08-07(内容定期更新)