超小体积高精准经济型
压力测量及控制
KP300系列
KP300系列压力控制器具有超小体积适合系统集成、低成本经济型解决方案、高精度高分辨率、优越的零点稳定性、良好的重复性、超快响应时间等特点。适用于半导体晶圆氦气冷却系统、液源压力控制系统、MOCVD蒸汽压力控制等应用场景。
核心参数
压力控制范围0~50/100 Torr
压力控制精度±0.5%F.S.
压力控制范围1~100%F.S.
响应时间≤1s
通讯方式RS485 / EtherCAT / DeviceNet
压力信号输出0~10V
应用领域
医疗健康
其他行业
表面处理
化工与材料
食品制药
分析行业
型号规格
| 压力控制参数 | |
| 压力控制范围 | 0~50/100 Torr |
| 压力控制精度 | ±0.5%F.S. |
| 压力控制范围 | 1~100%F.S. |
| 响应时间 | ≤1s |
| 流量检测参数 | |
| 流量检测范围（氨气） | 0~20/50/100 sccm（其他请咨询） |
| 流量检测精度 | 0~25%F.S.: <0.3%F.S. >25%F.S.: 1%RD |
| 泄漏率 | |
| 外部泄漏率 | ≤1×10⁻¹² Pa·m³/s（氮气） |
| 内部泄漏率 | <0.1 sccm（氮气） |
| 电气参数 | |
| 供电电压 | 18~32V（推荐24V） |
| 压力信号输出 | 0~10V |
| 流量信号输出 | 0~5V |
| 通讯接口 | |
| 通讯方式 | RS485、EtherCAT、DeviceNet |
| 机械参数 | |
| 接头类型 | 1/4 VCR |
| 入口压力范围 | 1.5~3 bar |
| 环境条件 | |
| 工作温度 | 15~40℃ |
•KP300系列具有超小体积，适合系统集成。
•低成本经济型解决方案，高精度高分辨率。
•适用于半导体晶圆氦气冷却系统、液源压力控制系统、MOCVD蒸汽压力控制。
产品特点
超小体积
适合系统集成
高精准
±0.5%F.S.精度
零点稳定
优越的零点稳定性
超快响应
≤1s响应时间
多通讯
RS485/EtherCAT/DeviceNet
经济型
低成本解决方案
应用领域
医疗健康
其他行业
表面处理
化工与材料
食品制药
分析行业
