MFC / GAS FLOW
El aspecto del producto varía según la configuración.
Controlador de caudal másico (MFC)
Serie KC800
El controlador digital de caudal másico de la serie KC800 está diseñado para mantener un control de caudal estable ante cambios de presión de entrada. La pantalla integrada facilita el manejo y la configuración, incluidas la selección del gas y el ajuste del rango. Está destinado a aplicaciones de procesamiento de semiconductores.
- Rango
- 0~10 sccm a 0~10 slm (equivalente en nitrógeno)
- Exactitud
- ±1.0%S.P. (>25%F.S.) / ±0.25%F.S. (≤25%F.S.)
- Relación de regulación
- 50:1
- Tiempo de respuesta
- ≤1s
Configuración e idoneidad confirmadas para su aplicación.
Parámetros básicos
| Requisito del fluido | Gas limpio y seco |
| Rango de caudal¹ (equivalente en nitrógeno) | (0~10, 20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10) slm Otros rangos personalizables; contáctenos |
| Exactitud | ±1.0%S.P.² (>25%F.S.) ±0.25%F.S.³ (≤25%F.S.) |
| Relación de regulación | 50:1 |
| Tiempo de respuesta⁴ | ≤1s |
| Linealidad | ≤±0.5%F.S. |
| Repetibilidad | ≤±0.2%F.S. |
| Tasa de fuga | ≤1×10⁻⁹ Pam³/sHe |
Características de presión
| Presión diferencial de funcionamiento | 50~300 kPa |
| Compensación de fluctuaciones de presión | ≤±(5.0%S.P.+1.5%F.S.) @5psi/s |
| Presión nominal máxima | 500 kPa |
Condiciones ambientales
| Temperatura de funcionamiento | 0~50℃ |
| Humedad de funcionamiento | 10%~90% R.H. (sin condensación) |
| Temperatura de almacenamiento | -20~85℃ |
Parámetros eléctricos
| Alimentación | DC24V |
| Consumo de energía | ≤4.0W |
| Tiempo de arranque | ≤1s |
Interfaz de comunicación
| Com. digital | DeviceNet o RS485 |
| Control analógico | 0~5V |
Parámetros mecánicos
| Tipo de conector | VCR: 1/4 inch, 1/2 inch Conexión de férula: 1/4 inch, 1/2 inch |
| Materiales en contacto con el fluido | Acero inoxidable 316L |
| Material del sello | Caucho fluorado FKM o totalmente metálico |
| Peso | 1.2kg |
Condiciones y notas de medición
- Salvo que se indique lo contrario, este producto se calibra en las siguientes condiciones: nitrógeno, 25℃, posición horizontal.
- %S.P. indica el error como porcentaje del punto de ajuste.
- %F.S. indica el error como porcentaje del fondo de escala.
- El tiempo de respuesta es el tiempo necesario para alcanzar ±2% del punto de ajuste.
- Insensible a la presión: dentro del rango de presión diferencial especificado, las fluctuaciones de presión de entrada no afectan al control de caudal.
Confirme con nuestro equipo la compatibilidad del fluido, los materiales, las conexiones y la configuración disponible antes de realizar el pedido.
