FCS / SYSTEMS & SOLUTIONS
產品外觀因配置而異。
流體控制解決方案（FCS）
GasKito 整合式氣體系統
GASKITO 整合式氣體系統將流量和壓力模組組合安裝在精巧的導軌上。可依應用需求配置控制閥、截止閥、混氣室、過濾器及其他模組。模組可從頂部操作，便於維護和更換，無需拆卸整個系統。
- 模組類型
- MFC/MFM/壓力感測器/閥門/過濾器
- 安裝方式
- 導軌安裝系統
- 安裝
- 可從頂部維護的模組
- 通訊
- 類比訊號 / RS232 / DeviceNet / PROFIBUS / Modbus / EtherCAT / PROFINET
針對您的應用確認配置與適用性。
產品特點
| 緊湊設計 | 緊湊組件可高效利用空間，並盡量減小死體積。 |
| 成本效益 | 適用於設備整合的高成本效益方案。 |
| 整合歧管 | 一體式歧管可減少潛在洩漏點。 |
| 維護操作空間 | 可從頂部操作的模組便於維護。 |
| 靈活配置 | 系統可擴充或重新設定。 |
| 經過工廠測試的組件 | 經過預先測試的儀表模組可簡化安裝。 |
介面
| 類比訊號 | 0~5V, 4~20mA |
| 數位通訊 | RS232, DeviceNet, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT, PROFINET |
| PROFIBUS 閘道器 | 可提供 3 通道和多通道配置 |
特點
| 警報與累積 | 警報與累積功能 |
| 控制設定 | 使用者可自訂的控制設定 |
| 多氣體選項 | 提供多氣體與多量程選項 |
| 軟體工具 | 附帶軟體工具 |
測量條件與說明
- GASKITO 系統專為精巧型製程氣體輸送組件設計。
- 模組化結構簡化系統變更與維護。
- 適用於真空與電漿製程、鍍膜、催化劑測試、半導體與太陽能電池生產、燃燒控制、生物技術、化工製程以及食品飲料生產。
訂購前，請與我們的團隊確認流體相容性、材質、連接方式及可用配置。
