
玻璃涂层在于修改其光学特性,提升太阳能传递特征。气拓质量流量控制器为大规模玻璃涂层提供可靠的气体控制方案。
玻璃涂层在于修改其光学特性,提升其太阳能传递特征或者改变其外观。无论是能量控制或者只是建筑要求,玻璃涂层工艺要求严格。
为达到薄膜涂层优化品质标准,工艺气系统须能提供高品质的涂层一致性。大规模涂层设备使用中如何简化维护也是重要的关注点。
通过准确气体喷溅获得一致性的涂层是一种物理气相沉积(PVD)工艺,其在高压加速下将原子或分子由源转移到基材表面上。作用是使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上,使母体具有更好的性能。
根据其特性,该工艺要求低压,但是工艺气体流量需足够离子轰击发生,否则不可能保持等离子。因此,工艺气体须精细控制。
客户需求
- 高品质涂层的一致性
- 重复性和快速响应
- 可靠耐用24/7不间断工作
- 紧凑型节省空间
关键要素
- 超快控制:比例电磁控制阀
- 平稳控制:优化稳定性和重复性
- 氩气为主:惰性气体常用
- 多气体:氧气氮气可加入
气拓解决方案
- 气拓质量流量控制器精确控制气体
- 比例电磁控制阀实现超快平稳控制
- 优化稳定性和重复性
- 紧凑设计适合大规模设备
客户收益
- 薄膜一致性优异
- 重复性高
- 响应时间快
- 可靠耐用低成本
本文为公司内部资讯,非广告宣传,仅供公司内部交流参考,所载技术方案、参数、应用案例等内容仅供参考,不构成要约或承诺。
