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玻璃涂层工艺:PVD溅射流量测控

2024-08-16
3 分钟阅读
气拓技术团队
玻璃涂层工艺:PVD溅射流量测控

玻璃涂层在于修改其光学特性,提升太阳能传递特征。气拓质量流量控制器为大规模玻璃涂层提供可靠的气体控制方案。

玻璃涂层在于修改其光学特性,提升其太阳能传递特征或者改变其外观。无论是能量控制或者只是建筑要求,玻璃涂层工艺要求严格。

为达到薄膜涂层优化品质标准,工艺气系统须能提供高品质的涂层一致性。大规模涂层设备使用中如何简化维护也是重要的关注点。

通过准确气体喷溅获得一致性的涂层是一种物理气相沉积(PVD)工艺,其在高压加速下将原子或分子由源转移到基材表面上。作用是使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上,使母体具有更好的性能。

根据其特性,该工艺要求低压,但是工艺气体流量需足够离子轰击发生,否则不可能保持等离子。因此,工艺气体须精细控制。

客户需求

  • 高品质涂层的一致性
  • 重复性和快速响应
  • 可靠耐用24/7不间断工作
  • 紧凑型节省空间

关键要素

  • 超快控制:比例电磁控制阀
  • 平稳控制:优化稳定性和重复性
  • 氩气为主:惰性气体常用
  • 多气体:氧气氮气可加入

气拓解决方案

  • 气拓质量流量控制器精确控制气体
  • 比例电磁控制阀实现超快平稳控制
  • 优化稳定性和重复性
  • 紧凑设计适合大规模设备

客户收益

  • 薄膜一致性优异
  • 重复性高
  • 响应时间快
  • 可靠耐用低成本

本文为公司内部资讯,非广告宣传,仅供公司内部交流参考,所载技术方案、参数、应用案例等内容仅供参考,不构成要约或承诺。

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