玻璃涂层在于修改其光学特性，提升太阳能传递特征。气拓质量流量控制器为大规模玻璃涂层提供可靠的气体控制方案。
玻璃涂层在于修改其光学特性，提升其太阳能传递特征或者改变其外观。无论是能量控制或者只是建筑要求，玻璃涂层工艺要求严格。
为达到薄膜涂层优化品质标准，工艺气系统须能提供高品质的涂层一致性。大规模涂层设备使用中如何简化维护也是重要的关注点。
通过准确气体喷溅获得一致性的涂层是一种物理气相沉积（PVD）工艺，其在高压加速下将原子或分子由源转移到基材表面上。作用是使某些有特殊性能（强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等）的微粒喷涂在性能较低的母体上，使母体具有更好的性能。
根据其特性，该工艺要求低压，但是工艺气体流量需足够离子轰击发生，否则不可能保持等离子。因此，工艺气体须精细控制。
Requirements
- 高品质涂层的一致性
- 重复性和快速响应
- 可靠耐用24/7不间断工作
- 紧凑型节省空间
Key Elements
- 超快控制：比例电磁控制阀
- 平稳控制：优化稳定性和重复性
- 氩气为主：惰性气体常用
- 多气体：氧气氮气可加入
GASKITO Solutions
- 气拓质量流量控制器精确控制气体
- 比例电磁控制阀实现超快平稳控制
- 优化稳定性和重复性
- 紧凑设计适合大规模设备
Benefits
- 薄膜一致性优异
- 重复性高
- 响应时间快
- 可靠耐用低成本
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