FCS / SYSTEMS & SOLUTIONS
产品外观因配置而异。
流体控制解决方案（FCS）
QT-COMP 集成气体控制系统
QT-COMP 是面向 OEM 和系统集成商的紧凑型无管路气体控制系统。流量和压力模块可与阀门、过滤器及混气室组合安装在模块化歧管上，提供 3 至 9 通道配置。出厂前完成组装和测试，可简化调试；可从顶部操作的模块便于在空间受限的设备中进行维护。
- 流量范围
- 0.06~3 mln/min 至 1~50 Ln/min（N₂ 当量）
- 精度（流量）
- ±0.5%Rd ±0.1%FS（标准）；低量程为 ±1%FS
- 压力范围
- 2~100 mbar 至 0.2~10 bar（绝压/表压）
- 精度（压力）
- ±0.5%FS
针对您的应用确认配置与适用性。
核心性能
| 流量范围 | 0.06~3 mln/min 至 1~50 Ln/min（N₂ 当量），更大量程可定制 |
| 流量精度 | ±0.5% Rd ±0.1% FS（标准）；量程 ≤3.5 mln/min 时为 ±1% FS |
| 量程比 | 1:50（数字模式下最高可达 1:187.5） |
| 重复性 | <0.1%FS; <0.2%Rd |
| 稳定时间 | ≤1.2s（高于 5%FS 时的典型值） |
| 控制稳定性 | < ±0.1%FS（1 Ln/min N₂ 的典型值） |
| 传感器响应 | <0.1s |
| 零点温度系数 | <0.05%FS/°C |
| 量程温度系数 | <0.05%Rd/°C |
| 压力灵敏度 | 0.1%Rd/bar 典型值（N₂） |
| 预热时间 | 2 min 达到 ±2%FS；30 min 达到最佳精度 |
压力模块
| 压力传感器量程 | 2~100 mbar 至 0.2~10 bar（可选绝压或表压） |
| 压力控制范围 | 5~100 mbar 至 0.5~10 bar（电子压力控制器） |
| 压力精度 | ±0.5%FS |
机械与电气
| 最大工作压力 | 10 bar（表压） |
| 工作温度 | -10°C ~ +50°C |
| 通道配置 | 3~9 通道，可扩展 |
| 歧管材质 | 阳极氧化铝；316L 不锈钢（可选） |
| 接液部件 | 316L 不锈钢 |
| 密封材料 | 标准配置为 EPDM；Viton/Kalrez（FFKM）可选 |
| 过滤模块 | 烧结不锈钢过滤器，可选 0.5/2/7/15 µm |
| 阀门类型 | 常闭/常开控制阀；电磁截止阀/3 通阀 |
| 阀门 Kv 值 | 最大 Kv=1.0 |
| 阀门最高温度 | 50°C |
| 电源 | 15~24 Vdc |
| 功率（控制器） | 最大 320 mA |
| 功率（流量计） | ~70 mA |
| 电磁线圈功率 | 3W |
| 模拟输出 | 0-10Vdc（负载>2kΩ）；0-20mA/4-20mA（负载<375Ω） |
| 模拟设定值 | 0(4)-20mA; 0-(5)10Vdc |
| 数字通信 | RS232/RS485, Modbus RTU/TCP, DeviceNet, PROFIBUS DP, PROFINET, EtherCAT, FLOW-BUS |
| 电气连接 | 模拟信号/RS232/PROFIBUS：9 针 D-sub 公头；DeviceNet：5 针 M12 公头；Modbus/EtherCAT/PROFINET：RJ45 |
| 安装 | 底部安装孔适用于面板/支架安装；安装方向不限 |
| 防护 | IP40 |
| 洁净室组装 | 可按需提供 |
测量条件与说明
- QT-COMP 采用无管路表面安装技术，将所有功能模块集成在统一的歧管上。与传统管路连接相比，可显著降低泄漏风险并减少安装空间。
- 可根据需要组合质量流量计/控制器、压力传感器/控制器、过滤器、混合腔、切断阀及三通阀。
- 底部连接设计便于从上方进行维护和模块更换，无需断开底部管路。
- 出厂前完成全面测试与校准，支持“即插即用”安装，大幅减少现场调试时间与成本。
- 支持多种工业通信协议，可与 PLC/DCS/DCIM 监控系统无缝集成。
- 可配置端面密封接头、卡套接头或法兰，以满足不同行业的要求。
- 典型应用：半导体 CVD/刻蚀、分析仪器载气控制、生物反应器气体混配、化工过程控制、真空/等离子/溅射镀膜、燃烧控制、催化剂评价等。
订购前，请与我们的团队确认流体兼容性、材质、连接方式及可用配置。
