FCS / SYSTEMS & SOLUTIONS
产品外观因配置而异。
流体控制解决方案（FCS）
QT720 系列多气体混配系统
QT720 系列将差压式质量流量控制器与气体混配模块结合，实现实时压力或流量控制，支持 MQTT 通信、自动化运行及数据记录。提供独立式、台式和机架式配置，可将数据导出至 CSV 文件、数据库或云平台。
- 混合精度
- ±0.6% (100sccm~20SLPM)
- 校准精度（50–5000 SLPM）
- ±0.8% R.D. 或 ±0.2% F.S.
- 重复性
- ±(0.1% R.D.+0.02% F.S.) (100sccm~20SLPM)
- 兼容气体
- 49 种纯气体 + 5 种自定义混合气
针对您的应用确认配置与适用性。
系统配置
| 独立运行系统 | 工厂组装系统，具有 2–6 个通道，质量流量控制器安装于不锈钢歧管上，接口朝后，尺寸为 9.2×14.0×14.2 inches |
| 台式系统 | 2–10 通道，支持更大流量范围，适用于工艺集成；尺寸为 9.2×11.7×7.3 英寸 |
| 机架式系统 | 19 英寸 4U 工业机架安装，2–10 通道 |
核心性能
| 混合技术 | GASKITO 气体质量流量控制器，配备专用混合控制模块 |
| 兼容气体 | 可选 49 种纯气体，用户可配置最多由 5 种气体组成的混合气（见气体列表） |
| 混合精度 | 精度 ±0.6% |
流量与精度
| 单通道流量范围（2–6 个 MFC 独立系统） | 100sccm-100SLPM |
| 单通道流量范围（2–10 个 MFC 独立系统） | 100sccm-5000SLPM |
| 最小允许流量（100 sccm–5 SLPM） | 50sccm |
| 最小允许流量（5–100 SLPM） | 1%F.S. |
| 最小允许流量（100–5000 SLPM） | 2%F.S. |
| 单通道校准精度（100 sccm–20 SLPM） | ±0.6% R.D. 或 ±0.1% F.S.，取较大者 |
| 单通道校准精度（50–5000 SLPM） | ±0.8% R.D. 或 ±0.2% F.S. |
| 单通道重复性（100 sccm–20 SLPM） | ±（0.1% R.D.+0.02% F.S.） |
| 单通道重复性（50–5000 SLPM） | ±（0.2% R.D.+0.02% F.S.） |
| 控制响应时间 | 响应最快可达 25 ms；控制器调节参数根据应用的流量、气体及背压进行匹配。 |
环境与连接
| 最大输入压力 | 145PSIG(10barG) |
| 工作温度 | -10~60℃ |
| 气路连接 | 1/8 英寸、1/4 英寸和 3/8 英寸；NPT、LOK、VCR 连接 |
电气与显示规格
| 输入电源 | 请确认所选配置的供电电压 |
| 电源输出 | 24VDC |
| 显示屏尺寸 | 10.1 英寸 IPS QLED 电容式多点触控显示屏，配强化玻璃 |
| 处理器与存储 | 64 位处理器，14 GB 存储空间 |
物理连接
| USB 2.0 | 12 |
| USB 3.0 | 2 |
| RJ45 以太网接口 | 1 |
自动化与集成
| 联网与物联网 | 支持 MQTT 连接及数据导出至 CSV、MySQL、PostgreSQL、MSSQL 与云平台；支持脚本、计划任务及事件处理 |
标准配件
| 随附配件 | 4 芯辅助电缆（EMO、24 V DC 报警输出、模拟报警输入）、6 芯互联电缆及 BB9-I 接线盒（仅限远程配置）、超细纤维屏幕清洁布 |
尺寸与重量
| 独立运行台式系统 | 233.68×355.6×360.68mm, 20.9kg |
| 远程控制台式系统 | 234.01×299.01×188.70mm, 7.8kg |
| 远程控制机架式系统 | 177.80×482.60×180.47mm, 8.4kg |
测量条件与说明
- 基于差压原理的质量流量控制器，配备专用混合控制模块。
- 支持 49 种可选纯气体，以及由用户配置、最多包含 5 种气体的混合气。
- MQTT 连接支持导出至 CSV、MySQL、PostgreSQL、MSSQL 与云平台。
- 支持脚本、任务调度和事件处理。
- 10.1 英寸 IPS QLED 电容式多点触控显示屏，配强化玻璃。
- 三种系统配置满足不同安装需求。
- 安装前，请与我们的团队确认输入供电电压。
订购前，请与我们的团队确认流体兼容性、材质、连接方式及可用配置。
