MFC / GAS FLOW
产品外观因配置而异。
质量流量控制器（MFC）
KC800 系列
KC800 系列数字式质量流量控制器可在入口压力变化时保持稳定的流量控制。内置显示屏支持操作与配置，包括气体选择和量程调整，适用于半导体工艺应用。
- 量程
- 0~10 sccm 至 0~10 slm（氮气当量）
- 精度
- ±1.0%S.P. (>25%F.S.) / ±0.25%F.S. (≤25%F.S.)
- 量程比
- 50:1
- 响应时间
- ≤1s
针对您的应用确认配置与适用性。
基本参数
| 介质要求 | 洁净、干燥气体 |
| 流量范围¹（氮气等效值） | (0~10, 20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10) slm；其他量程可定制，请联系我们 |
| 精度 | ±1.0%S.P.² (>25%F.S.) ±0.25%F.S.³ (≤25%F.S.) |
| 量程比 | 50:1 |
| 响应时间⁴ | ≤1s |
| 线性度 | ≤±0.5%F.S. |
| 重复性 | ≤±0.2%F.S. |
| 漏率 | ≤1×10⁻⁹ Pam³/sHe |
压力特性
| 工作压差 | 50~300 kPa |
| 压力波动补偿 | ≤±(5.0%S.P.+1.5%F.S.) @5psi/s |
| 最大额定压力 | 500 kPa |
环境条件
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 工作湿度 | 10%~90% R.H.（无凝露） |
| 储存温度 | -20~85℃ |
电气参数
| 电源 | DC24V |
| 功耗 | ≤4.0W |
| 启动时间 | ≤1s |
通信接口
| 数字通信 | DeviceNet 或 RS485 |
| 模拟控制 | 0~5V |
机械参数
| 连接器类型 | VCR：1/4 inch、1/2 inch；卡套：1/4 inch、1/2 inch |
| 接液材料 | 316L 不锈钢 |
| 密封材料 | FKM 氟橡胶或全金属 |
| 重量 | 1.2kg |
测量条件与说明
- 除非另有说明，本产品在以下条件下校准：氮气、25℃、水平安装。
- %S.P. 表示误差占设定值的百分比。
- %F.S. 表示误差占满量程的百分比。
- 响应时间是指达到设定值 ±2% 范围内所需的时间。
- 对压力变化不敏感：在规定压差范围内，流量控制不受入口压力波动影响。
订购前，请与我们的团队确认流体兼容性、材质、连接方式及可用配置。
