MFC / GAS FLOW
产品外观因配置而异。
质量流量控制器（MFC）
KC600 系列
KC600 系列气体质量流量控制器将工业流量传感器、双显示屏和可调流量量程结合在一起，可通过 PC 软件进行配置和监测。典型应用包括半导体加工、光伏生产和真空镀膜。
- 量程
- 0~20 sccm 至 0~20 slm（氮气当量）
- 精度
- ±0.3%F.S. (≤30%F.S.) / ±1.0%S.P. (>30%F.S.)
- 量程比
- 100:1
- 响应时间
- ≤0.5s
针对您的应用确认配置与适用性。
基本参数
| 介质要求 | 洁净、干燥、无腐蚀性气体 |
| 介质类型 | 空气、氮气、氧气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氩气等。 |
| 流量范围¹（氮气等效值） | (0~20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10, 20) slm；其他量程可定制，请联系我们 |
| 精度 | ±0.3%F.S.² (≤30%F.S.) ±1.0%S.P.³ (>30%F.S.) |
| 量程比 | 100:1 |
| 响应时间⁴ | ≤0.5s |
| 重复性 | ≤±0.2%F.S. |
| 分辨率 | 0.001 sccm，≤20 sccm；0.01 sccm，≤100 sccm 且 >20 sccm；0.1 sccm，≤1 slm 且 >100 sccm；1 sccm，>1 slm |
| 漏率 | ≤1×10⁻¹⁰ Pam³/sHe |
| 最大额定压力 | 9.8bar |
环境条件
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 工作湿度 | 10%~90% R.H.（无凝露） |
| 工作压力⁵ | 0.5~4 bar，>2 slm；0.5~6 bar，≤2 slm（取决于量程） |
| 储存温度 | -20~85℃ |
电气参数
| 电源 | DC24V |
| 功耗 | ≤4.0W |
| 启动时间 | ≤1s |
通信接口
| 接口类型 | D-SUB9, RJ45 |
| 模拟控制 | 0-5V 或 4-20mA |
| 数字控制 | RS485 或 RS232 |
数字信号（RS485/RS232）
| 接口类型 | D-SUB9 或 RJ45 |
| 波特率 | 9600、38400、115200（默认） |
| 协议 | Modbus-RTU |
| 设备地址 | 1（默认）~99 |
机械参数
| 连接器类型 | 卡套：1/4 inch；VCR：1/4 inch；可提供其他规格 |
| 接液材料 | 316L 不锈钢、氟橡胶、二氧化硅 |
| 本体材质 | 底座：316L 不锈钢；外壳：铝合金 |
| 密封材料 | FKM 氟橡胶 |
| 重量 | 0.95kg |
测量条件与说明
- 除非另有说明，本产品在以下条件下校准：氮气、25℃、2.5 bar 压差（入口 3.5 barA，出口 1 barA）、水平安装。
- 建议在入口安装适当尺寸的直管段，否则可能出现精度偏差。
- 建议在入口与出口使用尽可能大口径的接头，以避免额外压力损失。
- 所示量程适用于氮气。
- %F.S. 表示误差占满量程的百分比。
- %S.P. 表示误差占设定值的百分比。
- 响应时间是指达到设定值 ±2% 范围内所需的时间。
- 工作压力指入口与出口之间的压差。
订购前，请与我们的团队确认流体兼容性、材质、连接方式及可用配置。
