太阳能电池效率提升的关键在于钝化层。气拓CEM系统为氧化铝钝化层沉积提供精确的TMA蒸汽供应。
随着当今各地越来越依赖风能和太阳能等可持续能源，有一个问题随之而来：如何进一步改善光伏（PV）太阳能电池的光电效率？从物理学角度广泛使用的晶体硅基太阳能电池的效率不超过29%。目前电池的效率约21%至22%，因此还有改进的空间。
提高效率的一种方法是减少太阳能电池内部能量转换过程中存在的损耗。钝化层能够防止硅内电子和电子空穴的过早复合，从而使这些带电粒子离开太阳能电池并完成其"发电"工作。气拓设备应用于氧化铝钝化薄层。
氧化铝沉积过程使用氧气和三甲基铝（TMA）在真空反应器内进行，过程非常敏感，且需要在非常干燥和干净的条件下进行，以防止TMA提前反应。为此，氩气载气必须非常纯净-6.0级或更高。此外，在纳米范围内施加超薄层时，所提供化合物的准确性和可重复性至关重要。
客户需求
- 准确供应气体和气态反应物
- 高重复性确保沉积层质量
- 系统稳定性保证工艺一致
- 纯净载气防止提前反应
关键要素
- 准确性：纳米级薄层沉积
- 重复性：日复一日稳定运行
- 系统稳定性：温度分布控制
- 载气纯度：6.0级或更高
气拓解决方案
- 气拓CEM系统产生TMA蒸汽
- 热式质量流量控制器提供氧气
- 温度控制确保蒸汽稳定性
- 优于传统起泡器的精确控制
客户收益
- 太阳能电池效率从21%提升至23.5%
- 减少电子空穴复合
- 反射太阳光重新进入活性区
- 沉积层质量稳定
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