金刚石耐磨性强适合切削工具涂层。气拓质量流量控制器为HFCVD金刚石涂层工艺提供高重复性流量控制。
金刚石耐磨性强，适合用于切削工具的涂层。金刚石涂层工艺技术良多，其中一种是热丝化学气相沉积（HFCVD）。HFCVD技术使用含碳气体稀释混合物例如氢气中的甲烷在亚大气压下通过热丝热活化。
重要的是所用的质量流量控制器可确保合适的气体总量和过程的重复性，否则，所获薄膜的均匀性和整体质量将大打折扣。仪表须可靠并具有模拟或数字通信功能，因为流程中气体的可燃性和爆炸性涉及安全问题，须严密控制和监测。
金刚石薄膜生产的通用方法之一是热丝气相沉积技术，其中气体混合物通过加热至2400°C的钨或钽线进行加热。通常仅需两种气体：氢气和甲烷，甲烷在氢气中以1-2 vol%稀释。
Requirements
- 高重复性
- 高精度
- 快速响应
- 高稳定性
Key Elements
- 气体精确控制：确保薄膜均匀性
- 安全监测：可燃气体严密控制
- 纳米晶金刚石：更光滑的表面
- 掺杂技术：硼掺杂使其具导电性
GASKITO Solutions
- 气拓质量流量控制器精确控制气体
- 数字通信实现远程监控
- EL-FLOW系列适合CVD工艺
- 可靠稳定满足长时间运行
Benefits
- 薄膜均匀性优异
- 过程重复性高
- 安全可靠监测严密
- 支持MCD和NCD涂层
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