光伏太阳能电池生产涉及多步工艺流程。气拓为太阳能电池制造设备提供精确的气体、液体和蒸汽流量控制解决方案。
光伏太阳能电池（将阳光转化为电能的电池）生产过程包括许多步骤，如硅片的清洗和蚀刻，或使用物理或化学气相沉积技术（PVD/CVD）层积。
用于生产太阳能电池的机器由一系列工艺室组成，在这些工艺室中，生产步骤在受控条件下进行，中间有隔离。每一个步骤都涉及到气体或液体化合物的供应。气拓为每周生产多台这类机器的公司提供质量流量装置。
应用要求：每台光伏太阳能电池制造机总共由10个真空处理室组成，利用几十个质量流量控制器来供应气体、液体和蒸汽。对于该应用，流量设备必须准确地提供500或1000 sccm（或任何期望值），且必须日复一日地发生。因此重复性和准确性同样重要。
Requirements
- 准确供应气体、液体和蒸汽
- 高重复性确保工艺一致
- 单台设备适用多种气体
- 真空处理室条件适应
Key Elements
- 准确性：精确提供设定流量
- 重复性：日复一日稳定运行
- 多气体支持：多种校准曲线
- 工艺兼容：PVD/CVD工艺适应
GASKITO Solutions
- 气拓热式质量流量控制器用于供气
- CEM系统用于液体蒸发
- 多校准曲线支持多种气体
- 完整的流量控制解决方案
Benefits
- 保证太阳能电池质量
- 优化生产效率
- 降低设备成本
- 适应多种工艺需求
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