MFM / GAS FLOW
产品外观因配置而异。
质量流量计（MFM）
KM800 系列
KM800 系列气体质量流量计将紧凑设计、快速响应、高分辨率和可重复测量结合在一起，适用于实验室气体测量及环境监测。流量范围、精度和工作条件请参阅型号规格。
- 量程
- 0~20 sccm 至 0~1000 slm（氮气当量）
- 精度
- ±1.0%F.S. (<50slm) / ±1.5%F.S. (50-100slm) / ±2.0%F.S. (>100slm)
- 量程比
- 100:1
- 响应时间
- ≤10ms
针对您的应用确认配置与适用性。
基本参数
| 介质要求 | 洁净、干燥、无腐蚀性气体 |
| 介质类型 | 空气、氮气、氧气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氩气等。 |
| 流量范围¹（氮气等效值） | (0~20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 5, 10, 50, 100, 200, 500, 800, 1000) slm；其他量程可定制，请联系我们 |
| 精度 | 1.0% F.S.，<50slm；1.5% F.S.，≤100slm 且 ≥50slm；2.0% F.S.，>100slm |
| 量程比 | 100:1 |
| 响应时间³ | ≤10ms |
| 流动压力损失 | ≤100Pa（取决于量程） |
| 重复性 | ≤±0.2% F.S. |
| 分辨率 | 0.01 sccm，≤100 sccm；0.1 sccm，≤1 slm 且 >100 sccm；1 sccm，≤5 slm 且 >1 slm；0.01 slm，>5 slm |
| 最大额定压力 | 2MPa |
环境条件
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 工作湿度 | 10%~90% R.H.（无凝露） |
| 工作压力⁴ | 0~1MPa |
| 储存温度 | -20~85℃ |
电气参数
| 电源 | DC 8~24V |
| 功耗 | ≤250mW |
| 显示 | LCD 屏幕（100ms 刷新）或上位机软件 |
通信接口
| 接口类型 | 7 针航空连接器 |
| 模拟控制 | 4~20mA（可选） |
| 数字控制 | RS485 |
数字信号（RS485）
| 接口类型 | 7 针航空连接器 |
| 波特率 | 9600（默认）、14400、19200、38400、56000、57600、115200，可通过指令或上位机软件配置 |
| 协议 | Modbus-RTU |
| 设备地址 | 1（默认）~250，可通过指令或上位机软件配置 |
机械参数
| 连接器类型 | 卡套：8mm、12mm、1/4inch、1/8inch；可提供其他规格 |
| 接液材料 | 铝合金、氟橡胶、二氧化硅 |
| 本体材质 | 底座：航空铝合金（批量订单可选 316L 不锈钢）；外壳：铝合金 |
| 密封材料 | FKM 氟橡胶 |
| 重量 | 0.30kg |
测量条件与说明
- 除非另有说明，本产品在以下条件下校准：氮气、25℃、2.5 bar 压差（入口 3.5 barA，出口 1 barA）、水平安装。
- 建议在入口安装适当尺寸的直管段，否则可能出现精度偏差。
- 建议在入口与出口使用尽可能大口径的接头，以避免额外压力损失。
- 所示量程适用于氮气。
- 响应时间是指达到设定值 ±2% 范围内所需的时间。
- 工作压力指入口与出口之间的压差。
订购前，请与我们的团队确认流体兼容性、材质、连接方式及可用配置。
